[发明专利]用于RERAM的固体电解质

摘要

本发明公开了一种组合物，其特别适用于基于金属离子传输的阻变存储器，所述组合物包含至少两种金属M1和M2的金属氧化物/金属硫化物/金属硒化物的基质材料，和在所述基质中活动的金属M3，其中‑M1与M2的原子比在75:25至99.99:0.01的范围内；‑M1、M2和M3的价态都是正数；‑M1的价态大于M2的价态；以及‑M2的价态等于或大于M3的价态。最优选的是非晶二氧化硅，其中M2＝Al部分替换M1＝Si原子，包含M3＝Cu。本发明还公开所述组合物的制造和用途，例如作为溅射靶。

主权项

1.一种组合物，其包含(i)包含金属氧化物、金属硫化物和/或金属硒化物作为基质材料的基质，所述金属氧化物、金属硫化物和/或金属硒化物包含至少两种金属M1和M2和(ii)在所述基质中活动的金属M3其中‑M1与M2的原子比在75:25至99.99:0.01的范围内；‑M1、M2和M3的价态都是正数；‑M1的价态大于M2的价态；‑M2的价态等于或大于M3的价态；且‑金属M1、M2和M3不同。