[发明专利]包含多晶第13族元素氮化物的自立基板和使用该自立基板的发光元件有效
| 申请号： | 201780010205.X | 申请日： | 2017-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108699728B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 今井克宏;仓冈义孝;市村干也;平尾崇行 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L33/16 | 分类号： | H01L33/16 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
在取向多晶第13族元素氮化物自立基板中减小单晶粒子的倾角，另外减小倾角的波动。自立基板包含由在大致法线方向上沿特定结晶方位取向的多个单晶粒子构成的多晶第13族元素氮化物。自立基板具有上表面和底面。多晶第13族元素氮化物包含氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶，以1×10 |
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| 搜索关键词： | 包含 多晶 13 元素 氮化物 自立 使用 发光 元件 | ||
【主权项】：
1.一种自立基板，该自立基板包含由在大致法线方向上沿特定结晶方位取向的多个单晶粒子构成的多晶第13族元素氮化物，其特征在于，所述自立基板具有上表面和底面，所述多晶第13族元素氮化物包含氮化镓、氮化铝、氮化铟或它们的混晶，以1×1017原子/cm3～1×1020原子/cm3的浓度含有锌。
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