[发明专利]产生无机薄膜的方法在审
| 申请号： | 201780007708.1 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN108495856A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | F·阿贝尔斯;D·勒夫勒;H·威尔默;R·沃尔夫;C·罗德;P·比舍尔贝格尔 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C07F9/6568 | 分类号： | C07F9/6568;C07F15/06;C23C16/18 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 肖威;刘金辉 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明属于在衬底上产生无机薄膜的方法，特别是原子层沉积方法的领域。特别地，本发明涉及一种包括使通式(I)化合物Ln‑‑‑M‑‑‑Xm(I)变为气态或气溶胶态，并将通式(I)化合物由气态或气溶胶态沉积至固体衬底上的方法，其中M为金属，L为与M配位的配体，且其含有至少一个磷‑碳多重键，其中L含有含磷杂环或磷‑碳三键，X为与M配位的配体，n为1‑5，且m为0‑5。 | ||
| 搜索关键词： | 气溶胶态 无机薄膜 衬底 配体 配位 原子层沉积 多重键 磷杂环 三键 沉积 金属 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括使通式(I)化合物变为气态或气溶胶态，和将通式(I)化合物由气态或气溶胶态沉积至固体衬底上，Ln‑‑‑‑M‑‑‑Xm(I)其中：M为金属，L为与M配位的配体，且含有至少一个磷‑碳多重键，其中L含有含磷杂环或磷‑碳三键，X为与M配位的配体，n为1‑5，且m为0‑5。
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