[发明专利]成膜装置及成膜方法以及太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提供了一种能够不使形成在成膜对象基板的两表面侧的溅射膜彼此发生短路并廉价地进行成膜的技术。在本发明中，在基板保持器运送机构3，由第1运送部以通过第1成膜区域的方式运送基底保持器11，通过溅射对保持于基板保持器11的成膜对象基板50的第1表面上进行成膜，使基板保持器11在维持上下关系的状态下从第1运送部向第2运送部折返运送，由第2运送部以通过第2成膜区域的方式向沿与第1运送部的运送方向相反方向运送基板保持器11，在成膜对象基板50的第2表面上进行基于溅射的成膜。基板保持器11具有露出成膜对象基板50的第1表面及第2表面的开口部14、15，并且设有遮蔽对于成膜对象基板50的边缘部的来自第2溅射源的成膜材料的遮蔽部16。

主权项

1.一种成膜装置，具备：真空槽，其形成单一的真空气氛；第1成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对成膜对象基板的第1表面上进行成膜的第1溅射源；第2成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对所述成膜对象基板的第2表面上进行成膜的第2溅射源；运送路径，其以相对于竖直面的投影形状成一连串的环状的方式形成，以通过所述第1成膜区域及第2成膜区域的方式设置；以及基板保持器运送机构，其将以水平状态保持所述成膜对象基板的基板保持器沿着所述运送路径运送，所述基板保持器运送机构具有：第1运送部，其以通过所述第1成膜区域的方式沿既定方向运送所述基板保持器；第2运送部，其以通过所述第2成膜区域的方式沿与所述第1运送部的运送方向相反方向运送所述基板保持器；以及运送折返部，其使所述基板保持器在维持上下关系的状态下从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送，所述基板保持器具有露出所述成膜对象基板的第1表面及第2表面的开口部，并且设有遮蔽对于所述成膜对象基板的边缘部的、来自所述第1溅射源及第2溅射源的至少一个的成膜材料的遮蔽部，而且，沿相对于运送方向正交的方向延伸的支撑轴设于两侧部，所述运送路径由以相对于所述运送方向正交的方向的旋转轴线为中心进行旋转的一对第1驱动轮、以相对于所述运送方向正交的旋转轴线为中心进行旋转的一对第2驱动轮、以及分别桥接在这些一对第1驱动轮和一对第2驱动轮的一对运送驱动构件构成，并且以所述基板保持器的支撑轴为中心能够旋转地保持该支撑轴的保持驱动部安装在所述一对运送驱动构件中的每一个，在所述第2驱动轮附近的位置，设有姿态控制机构，其在使所述基板保持器从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送时，与所述第2驱动轮同步地移动，并且以支撑所述基板保持器而使该基板保持器保持大致水平状态的方式控制姿态。