[发明专利]成膜装置及成膜方法以及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，具备：

真空槽，其形成单一的真空气氛；

第1成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对成膜对象基板的第1表面上进行成膜的第1溅射源；

第2成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对所述成膜对象基板的第2表面上进行成膜的第2溅射源；

运送路径，其以相对于竖直面的投影形状成一连串的环状的方式形成，以通过所述第1成膜区域及第2成膜区域的方式设置；以及

基板保持器运送机构，其将以水平状态保持所述成膜对象基板的基板保持器沿着所述运送路径运送，

所述基板保持器运送机构具有：第1运送部，其以通过所述第1成膜区域的方式沿既定方向运送所述基板保持器；第2运送部，其以通过所述第2成膜区域的方式沿与所述第1运送部的运送方向相反方向运送所述基板保持器；以及运送折返部，其使所述基板保持器在维持上下关系的状态下从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送，

所述基板保持器具有露出所述成膜对象基板的第1表面及第2表面的开口部，并且设有遮蔽对于所述成膜对象基板的边缘部的、来自所述第1溅射源及第2溅射源的至少一个的成膜材料的遮蔽部，而且，沿相对于运送方向正交的方向延伸的支撑轴设于两侧部，

所述运送路径由以相对于所述运送方向正交的方向的旋转轴线为中心进行旋转的一对第1驱动轮、以相对于所述运送方向正交的旋转轴线为中心进行旋转的一对第2驱动轮、以及分别桥接在这些一对第1驱动轮和一对第2驱动轮的一对运送驱动构件构成，并且

以所述基板保持器的支撑轴为中心能够旋转地保持该支撑轴的保持驱动部安装在所述一对运送驱动构件中的每一个，

在所述第2驱动轮附近的位置，设有姿态控制机构，其在使所述基板保持器从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送时，与所述第2驱动轮同步地移动，并且以支撑所述基板保持器而使该基板保持器保持大致水平状态的方式控制姿态。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述基板保持器构成为沿相对于该运送方向正交的方向并排保持多个成膜对象基板。

3.一种成膜方法，使用了根据权利要求1所述的成膜装置，该成膜装置具备：真空槽，其形成单一的真空气氛；第1成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对成膜对象基板的第1表面上进行成膜的第1溅射源；第2成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对所述成膜对象基板的第2表面上进行成膜的第2溅射源；运送路径，其以相对于竖直面的投影形状成一连串的环状的方式形成，以通过所述第1成膜区域及第2成膜区域的方式设置；以及基板保持器运送机构，其将以水平状态保持所述成膜对象基板的基板保持器沿着所述运送路径运送，所述基板保持器运送机构具有：第1运送部，其以通过所述第1成膜区域的方式沿既定方向运送所述基板保持器；第2运送部，其以通过所述第2成膜区域的方式沿与所述第1运送部的运送方向相反方向运送所述基板保持器；以及运送折返部，其使所述基板保持器在维持上下关系的状态下从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送，所述基板保持器具有露出所述成膜对象基板的第1表面及第2表面的开口部，并且设有遮蔽对于所述成膜对象基板的边缘部的、来自所述第1溅射源及第2溅射源的至少一个的成膜材料的遮蔽部，所述成膜方法具有：

由所述基板保持器运送机构的第1运送部沿着所述运送路径以通过所述第1成膜区域的方式向既定方向运送所述基板保持器，通过溅射而对保持于该基板保持器的所述成膜对象基板的第1表面上进行成膜的工序；

由所述基板保持器运送机构的运送折返部使所述基板保持器在维持上下关系的状态下沿着所述运送路径从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送的工序；以及

由所述基板保持器运送机构的第2运送部沿着所述运送路径以通过所述第2成膜区域的方式向与所述第1运送部的运送方向相反方向运送所述基板保持器，对保持在该基板保持器的所述成膜对象基板的第2表面上进行成膜的工序。

4.一种太阳能电池的制造方法，使用了根据权利要求1所述的成膜装置，该成膜装置具备：真空槽，其形成单一的真空气氛；第1成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对成膜对象基板的第1表面上进行成膜的第1溅射源；第2成膜区域，其设置在所述真空槽内，具有对所述成膜对象基板的第2表面上进行成膜的第2溅射源；运送路径，其以相对于竖直面的投影形状成一连串的环状的方式形成，以通过所述第1成膜区域及第2成膜区域的方式设置；以及基板保持器运送机构，其将以水平状态保持所述成膜对象基板的基板保持器沿着所述运送路径运送，所述基板保持器运送机构具有：第1运送部，其以通过所述第1成膜区域的方式沿既定方向运送所述基板保持器；第2运送部，其以通过所述第2成膜区域的方式沿与所述第1运送部的运送方向相反方向运送所述基板保持器；以及运送折返部，其使所述基板保持器在维持上下关系的状态下从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送，所述基板保持器具有露出所述成膜对象基板的第1表面及第2表面的开口部，并且设有遮蔽对于所述成膜对象基板的边缘部的、来自所述第1溅射源及第2溅射源的至少一个的成膜材料的遮蔽部，所述太阳能电池的制造方法中，

作为所述成膜对象基板，准备在n型晶体硅基板的第1表面上依次设置i型非晶硅层及p型非晶硅层，并且在所述n型晶体硅基板的第2表面上依次设置i型非晶硅层及n型非晶硅层的基板，并具有：

由所述基板保持器运送机构的第1运送部沿着所述运送路径以通过所述第1成膜区域的方式向既定方向运送所述基板保持器，通过溅射而对保持在该基板保持器的所述成膜对象基板的第1表面上形成第1透明导电氧化物层的工序；

由所述基板保持器运送机构的运送折返部使所述基板保持器在维持上下关系的状态下沿着所述运送路径从所述第1运送部向所述第2运送部折返运送的工序；以及

由所述基板保持器运送机构的第2运送部沿着所述运送路径以通过所述第2成膜区域的方式向与所述第1运送部的运送方向相反方向运送所述基板保持器，通过溅射而对保持在该基板保持器的所述成膜对象基板的第2表面上形成第2透明导电氧化物层的工序。