[发明专利]静电电容式换能器及声音传感器

摘要

本发明提供在过大的压力作用在声音传感器的情况下，即使振动电极膜朝任意方向变形，都能够抑制振动电极膜的过度变形并避免振动电极膜破损的技术。静电电容式换能器具备背板(37)和以与背板(37)之间隔着空隙与背板(37)对置的方式配设的振动电极膜(35)，还具备：压力释放孔(35b)，其设置于振动电极膜(35)；凸部(37b)，其采用与背板(37)相同的部件与背板(37)一体设置，在振动电极膜(35)变形前的状态下进入压力释放孔(35b)；压力释放流路，其是通过压力释放孔(35b)和凸部(37b)的间隙形成的空气流路，凸部(37b)在背板(37)侧的规定区域具有截面积减小部，与凸状(37b)的比上述规定区域靠前端侧的区域相比，截面积减小部的截面积小。

主权项

一种静电电容式换能器，其具备：基板，其表面具有开口；背板，其以与所述基板的开口对置的方式配设；振动电极膜，其以与所述背板之间隔着空隙与该背板对置的方式配设，所述静电电容式换能器将所述振动电极膜的变形转换为该振动电极膜和所述背板之间的静电电容的变化，所述静电电容式换能器的特征在于，还具备：压力释放孔，其是设置于所述振动电极膜的贯通孔；凸状部分，其采用与所述背板相同的部件与所述背板一体地设置，在所述振动电极膜变形前的状态下进入所述压力释放孔；压力释放流路，其是由所述压力释放孔和所述凸状部分的间隙形成的空气流路，所述凸状部分在该凸状部分的所述背板侧的规定区域具有截面积减小部，与该凸状部分的比该规定区域靠前端侧的区域相比，所述截面积减小部在与所述背板平行的方向的截面的截面积小。