[发明专利]静电电容式换能器及声音传感器

权利要求书

1.一种静电电容式换能器，其具备：

基板，其表面具有开口；

背板，其以与所述基板的开口对置的方式配设；

振动电极膜，其以与所述背板之间隔着空隙与该背板对置的方式配设，

所述静电电容式换能器将所述振动电极膜的变形转换为该振动电极膜和所述背板之间的静电电容的变化，

所述静电电容式换能器的特征在于，还具备：

压力释放孔，其是设置于所述振动电极膜的贯通孔；

凸状部分，其采用与所述背板相同的部件与所述背板一体地设置，在所述振动电极膜变形前的状态下进入所述压力释放孔；

压力释放流路，其是由所述压力释放孔和所述凸状部分的间隙形成的空气流路，

所述凸状部分在该凸状部分的所述背板侧的规定区域具有截面积减小部，与该凸状部分的比该规定区域靠所述振动电极膜侧的区域相比，所述截面积减小部在与所述背板平行的方向的截面的截面积小，

所述凸状部分具有以所述截面积随着接近所述背板而减小的方式变化的锥形。

2.如权利要求1所述的静电电容式换能器，其特征在于，

在所述凸状部分形成从侧面的中途在所述背板侧开口的开口部和贯通该开口部和所述背板的上侧的空间。

3.如权利要求2所述的静电电容式换能器，其特征在于，

在所述背板及所述振动电极膜中的至少一方设置有在所述振动电极膜向该背板侧位移时与所述背板及所述振动电极膜中的另一方抵接的阻挡部，

所述凸状部分中的所述空间在与所述背板垂直的方向上的深度，比所述阻挡部的高度和所述振动电极膜的膜厚的总和值大。

4.如权利要求2或3所述的静电电容式换能器，其特征在于，

从与所述背板垂直的方向观察，所述空间具有圆形的形状。

5.一种声音传感器，其具有权利要求1～4中任一项所述的静电电容式换能器，将声压转换为所述振动电极膜和所述背板之间的静电电容的变化来进行检测。