[发明专利]曝光装置和曝光数据结构

摘要

本发明提供一种向产生多个带电粒子束的多个柱部分配电子束控制数据的曝光装置及曝光数据结构。本发明提供一种曝光装置以及这种曝光装置用的曝光数据结构及电子束控制数据的创建方法，所述曝光装置包括：多个柱部，产生沿第一方向排列的多个带电粒子束；柱控制部，单独控制带电粒子束的照射时刻；转换部，以描述器件图案的配置坐标的设计数据为基础转换成曝光数据，所述曝光数据由具有个带电粒子束的宽度并沿第二方向延伸的带状区域进行而成的第二数据和基于第一方向的位置指定该第二数据的第一数据构成；第一存储部，存储曝光数据；以及分配部，依照曝光顺序重构曝光数据并分配给各个柱部。

主权项

一种曝光装置，在形成有线形图案的样品上形成切割图案，其特征在于，包括：柱部，生成第一带电粒子束群及第二带电粒子束群，所述第一带电粒子束群在第一方向上分开一定间隔排成一列，所述第二带电粒子束群与所述第一带电粒子束群相邻并排配置并以与所述第一带电粒子束群相同的尺寸和间距被配置；柱控制部，单独控制所述第一带电粒子束群及第二带电粒子束群中包含的各带电粒子束的照射时刻；转换部，以描述所述样品上形成的器件图案的配置坐标的设计数据为基础，转换成曝光数据，所述曝光数据由对具有一个带电粒子束的宽度并沿第二方向延伸的带状区域进行分割而成的第二数据和基于第一方向的位置指定所述第二数据的第一数据构成；第一存储部，存储所述曝光数据；以及分配部，基于所述台上的样品的位置与所述柱部的相对位置关系，依照所述柱部对样品进行曝光的顺序重构由所述第一数据及第二数据构成的曝光数据，创建针对所述各柱部的电子束控制数据。