[实用新型]电镀用屏蔽装置有效
| 申请号： | 201721923864.6 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207845818U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;黄利松;刘红兵 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强;倪嘉慧 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种电镀用屏蔽装置，包括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。本实用新型能够控制电力线的走向，提高晶圆电镀的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔 阳极屏蔽 阴极屏蔽 电镀 本实用新型 屏蔽装置 电力线 穿过 间隔设置 相对设置 晶圆 | ||
【主权项】：
1.电镀用屏蔽装置，其特征在于，包括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新阳半导体材料股份有限公司，未经上海新阳半导体材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721923864.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种旋转及往复运动的电镀槽用阴极移动装置
- 下一篇：一种上镀膜载板
