[实用新型]电镀用屏蔽装置有效
| 申请号： | 201721923864.6 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207845818U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王振荣;黄利松;刘红兵 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强;倪嘉慧 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通孔 阳极屏蔽 阴极屏蔽 电镀 本实用新型 屏蔽装置 电力线 穿过 间隔设置 相对设置 晶圆 | ||
1.电镀用屏蔽装置，其特征在于，包括：阴极屏蔽板和阳极屏蔽板，阴极屏蔽板和阳极屏蔽板间隔设置，阳极屏蔽板上设有若干第一通孔，阴极屏蔽板上设有若干第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置，使得电力线可自所述第一通孔穿过并穿过所述第二通孔。
2.根据权利要求1所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，还包括屏蔽组件，屏蔽组件设置于阳极屏蔽板和阴极屏蔽板之间，屏蔽组件上设置第三通孔，所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对，电力线可自所述第一通孔穿过后，再穿过所述第三通孔，然后再穿过所述第二通孔。
3.根据权利要求2所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽组件与所述阳极屏蔽板连接；所述第三通孔与所述第一通孔及所述第二通孔位置相对。
4.根据权利要求3所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽组件与所述阴极屏蔽板连接。
5.根据权利要求4所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽组件包括屏蔽转接板组件和屏蔽环，所述屏蔽板转接组件设置有第四通孔；所述屏蔽环设置第五通孔，所述第四通孔和所述第五通孔组成所述第三通孔；所述屏蔽环一端与所述屏蔽转接板组件连接，另一端与所述阴极屏蔽板连接。
6.根据权利要求5所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽转接板组件包括第一屏蔽板和第二屏蔽板；所述第一屏蔽板设置有容腔；所述第一屏蔽板上设置有第六通孔；所述第二屏蔽板与所述第一屏蔽板连接并覆盖所述容腔；所述第二屏蔽板上设置有第七通孔；所述第六通孔与所述第七通孔位置相对，所述第六通孔与所述第七通孔组成所述第四通孔。
7.根据权利要求6所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽环一端自所述第七通孔插入所述容腔内，另一端通过法兰与所述阴极屏蔽板连接。
8.根据权利要求7所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽环为管状结构，所述屏蔽环一端穿过所述阴极屏蔽板，所述法兰位于屏蔽环端部，所述法兰将所述屏蔽环卡接在所述阴极屏蔽板上。
9.根据权利要求3所述的电镀用屏蔽装置，其特征在于，还包括支撑框架，所述阳极屏蔽板设置在所述支撑框架上；所述屏蔽组件与所述支撑框架连接。
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