[实用新型]一种快速清洗的真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201721910152.0 申请日: 2017-12-30
公开(公告)号: CN207958495U 公开(公告)日: 2018-10-12
发明(设计)人: 张超;钱浩;程锦泽;马向军;吕胜雨;王鹏翔 申请(专利权)人: 科大天工智能装备技术(天津)有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 天津合志慧知识产权代理事务所(普通合伙) 12219 代理人: 宋西磊
地址: 300000 天津市东丽区*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型公开了一种快速清洗的真空镀膜设备,包括真空镀膜设备本体,所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机,所述电机的前端固定安装有第一带轮,所述限位板的前表面转动安装有第二带轮,且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮,所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆,所述折叠杆的下端固定安装有限位块,所述承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置。本实用新型通过清洗装置,可在真空镀膜设备使用后,对真空镀膜设备的真空腔内壁进行清洗处理;通过电机、带轮和滑轨可实现防护门的电动开启和关闭,无需人工手动开启,结构科学合理,使用安全方便。
搜索关键词: 真空镀膜设备 带轮 前表面 本实用新型 电机 快速清洗 清洗装置 转动安装 上表面 位置处 限位板 折叠杆 电动开启 结构科学 清洗处理 人工手动 承压板 防护门 真空腔 滑轨 内壁 位块 下端
【主权项】:
1.一种快速清洗的真空镀膜设备,包括真空镀膜设备本体(1),其特征在于:所述真空镀膜设备本体(1)的上表面固定安装有电机(2),所述电机(2)的前端固定安装有第一带轮(3),所述真空镀膜设备本体(1)的上表面靠近电机(2)的一侧位置处固定安装有限位板(4),所述限位板(4)的前表面转动安装有第二带轮(5),且限位板(4)的前表面靠近第二带轮(5)的一侧位置处转动安装有第三带轮(6),所述第三带轮(6)的前表面固定安装有折叠杆(7),所述折叠杆(7)的下端固定安装有限位块(8),所述限位块(8)的下表面固定连接有防护门(9),所述真空镀膜设备本体(1)的顶部前表面与限位块(8)之间通过第一滑轨(10)滑动连接,所述真空镀膜设备本体(1)的内部顶端固定安装有镀件挂具(11),且真空镀膜设备本体(1)的底部前表面固定安装有第二滑轨(12),所述真空镀膜设备本体(1)一侧嵌入安装有吸气管(13),所述吸气管(13)的下端固定连接有真空泵(14),所述真空镀膜设备本体(1)的下表面固定连接有承压板(15),所述承压板(15)的前表面固定安装有控制开关(16),且承压板(15)的上表面靠近真空镀膜设备本体(1)的另一侧位置处固定安装有清洗装置(17),所述控制开关(16)的输出端分别与电机(2)和真空泵(14)的输入端电性连接。
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