[实用新型]一种快速清洗的真空镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种快速清洗的真空镀膜设备，包括真空镀膜设备本体，所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机，所述电机的前端固定安装有第一带轮，所述限位板的前表面转动安装有第二带轮，且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮，所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆，所述折叠杆的下端固定安装有限位块，所述承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置。本实用新型通过清洗装置，可在真空镀膜设备使用后，对真空镀膜设备的真空腔内壁进行清洗处理；通过电机、带轮和滑轨可实现防护门的电动开启和关闭，无需人工手动开启，结构科学合理，使用安全方便。

技术领域

本实用新型涉及真空电镀技术领域，具体为一种快速清洗的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备主要指在较高真空度下进行镀膜的设备，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

但是目前市场上的真空镀膜设备结构复杂，且功能单一，在使用真空镀膜设备镀膜一段时间后，真空室的内壁必须要进行清洗处理，由于真空镀膜设备缺少清洗装置，使得真空镀膜设备在使用后，其内壁会附着一部分电镀液，影响真空镀膜设备的再次使用；真空腔是真空镀膜设备的主要组成部分之一，由于真空镀膜设备在镀件后，真空腔内部依然处于真空状态，想要开启真空镀膜设备的防护门较为困难，不仅费时费力，而且在开门时，会对操作员造成轻微的伤害。

实用新型内容

本实用新型提供一种快速清洗的真空镀膜设备，可以有效解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种快速清洗的真空镀膜设备，包括真空镀膜设备本体，所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机，所述电机的前端固定安装有第一带轮，所述真空镀膜设备本体的上表面靠近电机的一侧位置处固定安装有限位板，所述限位板的前表面转动安装有第二带轮，且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮，所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆，所述折叠杆的下端固定安装有限位块，所述限位块的下表面固定连接有防护门，所述真空镀膜设备本体的顶部前表面与限位块之间通过第一滑轨滑动连接，所述真空镀膜设备本体的内部顶端固定安装有镀件挂具，且真空镀膜设备本体的底部前表面固定安装有第二滑轨，所述真空镀膜设备本体一侧嵌入安装有吸气管，所述吸气管的下端固定连接有真空泵，所述真空镀膜设备本体的下表面固定连接有承压板，所述承压板的前表面固定安装有控制开关，且承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置，所述控制开关的输出端分别与电机和真空泵的输入端电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述清洗装置包括喷头、第一输水管、水泵、第二输水管和储水箱，所述清洗装置的顶部设置有喷头，所述喷头的一侧固定连接有第一输水管，所述第一输水管的下端固定连接有水泵，所述水泵的一端固定安装有第二输水管，所述第二输水管的上端嵌入连接有储水箱，所述控制开关的输出端与水泵的输入端电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防护门的数量为两个，且防护门的内部嵌入安装有视窗，所述防护门的后表面固定安装有密封垫，密封垫为一种橡胶材质的构件。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述承压板的内部贯穿设置有出水管，所述真空镀膜设备本体的下表面与出水管的上端之间通过螺栓固定连接，螺栓的数量为四个。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述承压板的下表面固定安装有万向轮，万向轮的数量为四个，且万向轮呈矩形分布，万向轮的外侧均固定安装有制动器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一带轮与第二带轮之间和第二带轮与第三带轮之间均通过皮带连接，所述第一带轮与第二带轮之间的半径比为一比五，所述第二带轮与第三带轮的半径比为一比二。