[实用新型]一种精准定位的激光打孔测试标板有效
| 申请号： | 201721870229.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207662295U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李质磊;吴仕梁;逯好峰;路忠林;盛雯婷;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 南京日托光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李玉平 |
| 地址： | 211800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种精准定位的激光打孔测试标板，包括基板和挡板，其中基板与MWT硅片尺寸相同，在基板中部设置若干孔洞，所述孔洞与MWT激光打孔图案位置相同、尺寸一致，在基板端部设置用于定位的挡板。检验时，先将MWT硅片放置在基板上，然后利用挡板进行两者的精确定位，再观察两者孔洞的契合程度，如果孔洞完全契合，则说明硅片质量合格，反之不合格。本实用新型由于标板不变形，孔洞大小及图形与激光打孔图形一致，可以快速精确检验激光打孔的孔洞质量，避免偏移等情况发生，提高制程A级品率。 | ||
| 搜索关键词： | 孔洞 激光打孔 挡板 基板 精准定位 硅片 契合 本实用新型 测试标板 尺寸一致 硅片放置 基板端部 基板中部 图案位置 偏移 不变形 标板 制程 检验 测试 观察 | ||
【主权项】：
1.一种精准定位的激光打孔测试标板，其特征在于，包括基板和挡板，其中基板与MWT硅片尺寸相同，在基板中部设置若干孔洞，所述孔洞与MWT激光打孔图案位置相同、尺寸一致，在基板端部设置用于定位的挡板。
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