[实用新型]一种精准定位的激光打孔测试标板有效
| 申请号： | 201721870229.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN207662295U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李质磊;吴仕梁;逯好峰;路忠林;盛雯婷;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 南京日托光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李玉平 |
| 地址： | 211800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 孔洞 激光打孔 挡板 基板 精准定位 硅片 契合 本实用新型 测试标板 尺寸一致 硅片放置 基板端部 基板中部 图案位置 偏移 不变形 标板 制程 检验 测试 观察 | ||
【权利要求书】：
1.一种精准定位的激光打孔测试标板，其特征在于，包括基板和挡板，其中基板与MWT硅片尺寸相同，在基板中部设置若干孔洞，所述孔洞与MWT激光打孔图案位置相同、尺寸一致，在基板端部设置用于定位的挡板。
2.根据权利要求1所述的定位的激光打孔测试标板，其特征在于，所述挡板为2个，位于基板相邻的两边上。
3.根据权利要求1所述的定位的激光打孔测试标板，其特征在于，所述挡板为3个。
4.根据权利要求1所述的定位的激光打孔测试标板，其特征在于，所述挡板为4个。
5.根据权利要求1所述的定位的激光打孔测试标板，其特征在于，所述基板采用塑料或不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的定位的激光打孔测试标板，其特征在于，所述挡板的厚度为5mm，高度为5mm。
7.根据权利要求1所述的定位的激光打孔测试标板，其特征在于，所述挡板的厚度为2mm，高度为1mm。
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