[实用新型]一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置

摘要

本实用新型公开了一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，包括传动轴、壳体及水冷套，壳体与传动轴围成的空腔内设置有磁流体密封结构，水冷套内集成有多通道气路和水路。本实用新型通过传动轴和带多通道气路和水路集成的水冷套构成了轴内部水冷循环系统和气冷系统，可以非常高效地降低整根传动轴和磁极的温度，使得传动轴可以大部分长度伸入设备腔室内部的高温工况中，也能正常工作，不变形不卡顿，保证基片座的平稳匀速传输，同时确保冷却水不能进入磁流体密封结构，从而提高了磁流体密封结构的使用寿命和稳定性。

主权项

1.一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1），该传动轴（1）从大气端穿过IBE设备腔室侧壁进入到腔室内部，传动轴（1）的大气端连接电机和同步带轮，真空端连接基片座，其特征在于所述传动轴（1）上套接设置有壳体（2）及水冷套（3），所述壳体（2）与传动轴（1）围成的空腔内设置有磁流体密封结构，所述水冷套（3）内集成有多通道气路和水路。