[实用新型]一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置有效
| 申请号： | 201721860655.1 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN207848417U | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 徐美婷;黄昌盛;楼允洪 | 申请（专利权）人： | 杭州维科磁电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/43 | 分类号： | F16J15/43 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传动轴 多通道气路 磁流体密封结构 水路集成 水冷套 磁流体密封传动装置 本实用新型 壳体 水冷循环系统 磁极 高温工况 气冷系统 使用寿命 不变形 基片座 冷却水 设备腔 室内部 空腔 伸入 水路 传输 保证 | ||
1.一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1），该传动轴（1）从大气端穿过IBE设备腔室侧壁进入到腔室内部，传动轴（1）的大气端连接电机和同步带轮，真空端连接基片座，其特征在于所述传动轴（1）上套接设置有壳体（2）及水冷套（3），所述壳体（2）与传动轴（1）围成的空腔内设置有磁流体密封结构，所述水冷套（3）内集成有多通道气路和水路。
2.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述磁流体密封结构包括钕铁硼永久磁钢（4）、磁极（5）、对应设置在传动轴（1）上的磁液槽。
3.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体（2）与传动轴（1）之间设置有两个深沟球轴承（6）及星形密封圈（7）。
4.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷套（3）上设置有保护气进出口（8）、冷却水进出口（9）、氦气通口（10）。
5.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷套（3）与传动轴（1）之间设置有多个密封环（11）。
6.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体（2）为带六角法兰的壳体，壳体端面设置有氟胶O型圈（12），用于壳体法兰与IBE设备腔体侧壁之间的静密封。
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