[实用新型]一种用于太阳能电池制造预防叠片的压轮装置有效
申请号: | 201721853963.1 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN207800575U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 蒋冬 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏;方琦 |
地址: | 310053 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池制造预防叠片的压轮装置,包括压轮轴和置于压轮轴上的多个压轮组,压轮轴位于牵引轴上方,多个压轮组对应多列硅片,每组压轮组包括两件压轮,压轮与导向轮一一对应且位于导向轮的内侧,压轮轮面呈水平状且贴近硅片表面,本实用新型的压轮装置将压轮设置在导向轮内侧且靠近导向轮内侧,且使压轮轮面贴近硅片表面,使得滚轮上的硅片边角在走偏上爬时及时被压轮轮面碰撞而下落,恢复到原来的行进轨道上,消除了硅片的叠片现象。 | ||
搜索关键词: | 压轮 导向轮 压轮装置 压轮轴 压轮组 硅片 叠片 本实用新型 太阳能电池 硅片表面 轮面 行进轨道 被压轮 牵引轴 水平状 边角 多列 滚轮 预防 制造 恢复 | ||
【主权项】:
1.一种用于太阳能电池制造预防叠片的压轮装置,设于湿法刻蚀设备的上料段,用于太阳能电池硅片(1)的湿法刻蚀加工,所述上料段包括牵引轴(2)、置于所述牵引轴上的多个滚轮组,多个滚轮组对应多列硅片,每组滚轮组包括相互间隔的若干滚轮(3)及导向轮(4),所述导向轮为两件,位于滚轮组的两端,两件导向轮的间距与所述硅片的宽度相吻合,硅片置于上述滚轮上且随滚轮转动而牵引前行,其特征在于:所述压轮装置包括压轮轴(5)和置于压轮轴上的多个压轮组,所述压轮轴位于所述牵引轴上方,多个压轮组对应多列硅片,每组压轮组包括两件压轮(6),所述压轮与所述导向轮一一对应且位于导向轮的内侧,压轮轮面呈水平状且贴近硅片表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造