[实用新型]大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列有效
申请号: | 201721850342.8 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN207638962U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 汤洁;雷冰莹;李静;王静;王屹山;张同意;赵卫;段忆翔 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 胡乐 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供一种大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列,更大程度地降低射流装置工作时耗,提高工作效率,并在相对较低能耗下产生较大尺寸等离子体射流。本实用新型包括具有进气端口和出气端口的窄缝腔体、直流主放电电极和一对介质阻挡放电平板电极,直流主放电电极为多个柱形的阳极、阴极,均沿出气端口的厚度方向插入窄缝腔体;多个阳极和阴极沿平行于出气端口的直线依次交替布置,以柱面作为放电端面,组成直流放电单元的线型阵列,阳极个数比阴极个数多一或少一。本实用新型巧妙地利用直流主放电中阳极和阴极呈线型交替布置特征,以及直流辉光并联放电特性,实现了较低能耗下产生较大尺寸等离子体射流。 | ||
搜索关键词: | 阴极 阳极 本实用新型 出气端口 等离子体射流 低温等离子体 大气压介质 交替电极 射流阵列 窄缝腔体 阻挡放电 低能耗 增强型 主放电 介质阻挡放电 主放电电极 并联放电 放电端面 工作效率 交替布置 进气端口 平板电极 射流装置 线型交替 线型阵列 直流放电 直流辉光 个数比 时耗 柱面 柱形 平行 | ||
【主权项】:
1.大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列,包括具有进气端口和出气端口的主体腔室、直流主放电电极和一对介质阻挡放电的平板电极,主体腔室由绝缘材料制成;所述出气端口为窄缝状,主体腔室内靠近出气端口的部分形成窄缝腔体,出气端口的宽度与厚度之比为5~100:1;所述直流主放电电极设置在窄缝腔体处,所述平板电极位于进气端口与主放电电极之间用来预电离工作气体;其特征在于:所述直流主放电电极为多个柱形的阳极、阴极,均沿出气端口的厚度方向插入窄缝腔体;多个阳极和阴极沿平行于出气端口的直线依次交替布置,以柱面作为放电端面,组成直流放电单元的线型阵列,设阳极个数为n,则阴极个数为n+1或n‑1。
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