[实用新型]大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列

权利要求书

1.大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，包括具有进气端口和出气端口的主体腔室、直流主放电电极和一对介质阻挡放电的平板电极，主体腔室由绝缘材料制成；所述出气端口为窄缝状，主体腔室内靠近出气端口的部分形成窄缝腔体，出气端口的宽度与厚度之比为5～100：1；所述直流主放电电极设置在窄缝腔体处，所述平板电极位于进气端口与主放电电极之间用来预电离工作气体；其特征在于：

所述直流主放电电极为多个柱形的阳极、阴极，均沿出气端口的厚度方向插入窄缝腔体；多个阳极和阴极沿平行于出气端口的直线依次交替布置，以柱面作为放电端面，组成直流放电单元的线型阵列，设阳极个数为n，则阴极个数为n+1或n-1。

2.根据权利要求1所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：位于所述线型阵列的两端的直流主放电电极是偶数类的直流主放电电极；奇数类的直流主放电电极与其相邻的两个直流主放电电极并联后，再串联一个限流电阻构成回路；各个奇数类的直流主放电电极所在的回路彼此构成并联结构，且相应串联的限流电阻相等。

3.根据权利要求2所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：在直流主放电电极中，若阳极数量比阴极数量多一，则直流主放电电极的回路上限流电阻一端与阴极相接，另一端接地；若阴极数量比阳极数量多一，则直流主放电电极的回路上限流电阻一端与阳极相接，另一端接电源高压端。

4.根据权利要求1所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：所述直流主放电电极的形状为圆柱体。

5.根据权利要求4所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：各个直流主放电电极等间距排列，间距为5-20mm，直流主放电电极的直径均为0.1-1mm。

6.根据权利要求1所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：所述主体腔室内整体为长方体的窄缝腔体，平板电极的金属表面沿长方体宽边平行紧贴窄缝腔体外壁上，窄缝腔体的腔壁作为平板电极介质阻挡放电的绝缘介质层；平板电极与直流主放电电极沿工作气体流速方向的间距不小于1mm。

7.根据权利要求1所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：为平板电极提供放电电压的电源采用交流电源，交流电源的频率从工频至13.56MHz的射频范围内可调，电源模式为连续或脉冲形式；其中，平板电极的放电电流有效值不大于20mA。

8.根据权利要求7所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：平板电极介质阻挡放电功率不大于2W，工作气体流速为10～100L/min。

9.根据权利要求1所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：所述主体腔室由聚四氟乙烯或绝缘陶瓷制成。

10.根据权利要求1所述的大气压介质阻挡放电增强型直流交替电极低温等离子体射流阵列，其特征在于：所述直流主放电电极和平板电极均为铜、铝、钨、镍、钽或铂制成的电极。