[实用新型]化学机械式研磨装置用承载头的隔膜及具备其的承载头有效
| 申请号： | 201721842526.X | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207656469U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 孙准晧;申盛皓 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械式研磨装置用承载头的隔膜及具备其的承载头，所述隔膜安装在化学机械式研磨工序中用于将基板加压于研磨垫的承载头上，包括：底板，其以可挠性材质形成，包括具有不同厚度并接触基板的多个加压板部；隔壁，其在底板的上面延长形成，以便划分所述多个加压板部。本实用新型可以使底板翘起现象最小化，可以获得准确控制施加于基板的压力的有利效果。 | ||
| 搜索关键词： | 承载头 底板 机械式研磨 隔膜 本实用新型 加压板部 可挠性材质 基板加压 接触基板 准确控制 研磨垫 最小化 基板 翘起 隔壁 承载 施加 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械式研磨装置用承载头的隔膜，所述隔膜安装在化学机械式研磨工序中用于将基板加压于研磨垫的承载头上，其特征在于，包括：底板，其以可挠性材质形成，包括具有不同厚度并接触基板的多个加压板部；隔壁，其在所述底板的上面延长形成，以便划分所述多个加压板部。
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