[实用新型]一种双等离子体离子源有效

专利信息
申请号: 201721840554.8 申请日: 2017-12-26
公开(公告)号: CN207783240U 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 王俊润;姚泽恩;张宇;韦峥;卢小龙;黄智武;马占文;徐大鹏;祝娇;李清华 申请(专利权)人: 兰州大学;中国船舶重工集团公司第七一九研究所
主分类号: H05H1/28 分类号: H05H1/28;H05H1/30;H05H3/06
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 730000 甘肃*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 实用新型公开了一种双等离子体离子源,阳极外壳和中间电极采用软铁材料,中间电极设有冷却槽,中间电极和阳极外壳之间设有励磁线包,放电室内设有阴极灯丝,阴极灯丝置于灯丝罩内,灯丝罩安装在灯丝架上,灯丝架和灯丝接线柱通过陶瓷管固定在中间电极法兰上,中间电极法兰安装在中间电极的一端,中间电极的冷却槽连通中间电极冷却管道入口,中间电极法兰上设有进气管道连通放电室,放电室另一端为锥形出口,锥形出口连接阳极嵌块,阳极嵌块连接扩张杯,阳极法兰上设有阳极法兰冷却管道入口和阳极法兰冷却管道出口,阳极法兰底部设有阳极引出法兰。本实用新型的有益效果是提供更高的引出束流强度。
搜索关键词: 中间电极 阳极法兰 阳极 法兰 等离子体离子源 本实用新型 冷却管道 阳极外壳 阴极灯丝 锥形出口 灯丝架 灯丝罩 放电室 冷却槽 嵌块 连通 冷却管道出口 灯丝接线柱 法兰安装 进气管道 励磁线包 软铁材料 陶瓷管 放电 束流 室内
【主权项】:
1.一种双等离子体离子源,其特征在于:包括阳极外壳,阳极外壳和中间电极采用软铁材料,中间电极设有冷却槽,中间电极和阳极外壳之间设有励磁线包,放电室内设有阴极灯丝,阴极灯丝置于灯丝罩内,灯丝罩安装在灯丝架上,灯丝架和灯丝接线柱通过陶瓷管固定在中间电极法兰上,中间电极法兰安装在中间电极的一端,中间电极的冷却槽连通中间电极冷却管道入口,中间电极法兰上设有进气管道连通放电室,放电室另一端为锥形出口,锥形出口连接阳极嵌块,阳极嵌块连接扩张杯,阳极法兰上设有阳极法兰冷却管道入口和阳极法兰冷却管道出口,阳极法兰底部设有阳极引出法兰。
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