[实用新型]一种双等离子体离子源有效
| 申请号： | 201721840554.8 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN207783240U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王俊润;姚泽恩;张宇;韦峥;卢小龙;黄智武;马占文;徐大鹏;祝娇;李清华 | 申请（专利权）人： | 兰州大学;中国船舶重工集团公司第七一九研究所 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/30;H05H3/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中间电极 阳极法兰 阳极 法兰 等离子体离子源 本实用新型 冷却管道 阳极外壳 阴极灯丝 锥形出口 灯丝架 灯丝罩 放电室 冷却槽 嵌块 连通 冷却管道出口 灯丝接线柱 法兰安装 进气管道 励磁线包 软铁材料 陶瓷管 放电 束流 室内 | ||
【权利要求书】：
1.一种双等离子体离子源，其特征在于：包括阳极外壳，阳极外壳和中间电极采用软铁材料，中间电极设有冷却槽，中间电极和阳极外壳之间设有励磁线包，放电室内设有阴极灯丝，阴极灯丝置于灯丝罩内，灯丝罩安装在灯丝架上，灯丝架和灯丝接线柱通过陶瓷管固定在中间电极法兰上，中间电极法兰安装在中间电极的一端，中间电极的冷却槽连通中间电极冷却管道入口，中间电极法兰上设有进气管道连通放电室，放电室另一端为锥形出口，锥形出口连接阳极嵌块，阳极嵌块连接扩张杯，阳极法兰上设有阳极法兰冷却管道入口和阳极法兰冷却管道出口，阳极法兰底部设有阳极引出法兰。
2.按照权利要求1所述一种双等离子体离子源，其特征在于：所述中间电极法兰和中间电极的接触角设有真空封装O型密封圈。
3.按照权利要求1所述一种双等离子体离子源，其特征在于：所述放电室锥形出口上下端的半径分别为46mm和6mm；所述阳极嵌块采用金属钼材料，阳极嵌块的引出孔直径1mm；所述扩张杯直径为19mm，长度为16mm。
4.按照权利要求1所述一种双等离子体离子源，其特征在于：所述励磁线包安装在铜线包骨架法兰上，所述阳极外壳安装在阳极法兰上，中间电极、励磁线包、阳极嵌块、扩张杯和铜线包骨架法兰与阳极法兰之间均设有绝缘法兰。
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