[实用新型]一种插销式硅舟

摘要

本实用新型公开了一种插销式硅舟，包括法兰、天板、置于两者之间的若干硅齿棒和用于固定硅齿棒端部的定位插销，硅齿棒内侧设有多个等距且相互平行的沟齿，硅片插入并搁置于所述沟齿上，本实用新型采用平行设置的法兰和天板，配以中间支撑的多根硅齿棒，形成上下排布且高密度存放的硅片容置槽，可根据工艺需要选用不同数量沟齿的硅齿棒来承接硅片，既满足不同需求的加工要求，又能减少硅片与硅舟的接触面积，而且采用定位插销对硅齿棒端部进行定位锁止，消除了采用滴胶粘结可能发生的脱胶和污染，提高了硅舟的结构可靠性和装配牢固度。

主权项

1.一种插销式硅舟，用于硅片在热处理过程中的支承和隔热，其特征在于：所述插销式硅舟包括平行设置且对应的法兰(1)、天板(2)、置于两者之间用于承托所述硅片的若干硅齿棒(3)和用于固定硅齿棒端部的定位插销(4)，所述硅齿棒垂直于所述法兰内侧面，硅齿棒内侧设有多个等距且相互平行的沟齿(31)，硅片插入并搁置于所述沟齿上。