[实用新型]一种用于重稀土晶界扩渗的传输装置有效
申请号: | 201721816260.1 | 申请日: | 2017-12-22 |
公开(公告)号: | CN207748445U | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 董磊;封亮 | 申请(专利权)人: | 北京七星华创磁电科技有限公司 |
主分类号: | B65G37/00 | 分类号: | B65G37/00;B65G63/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹;吴欢燕 |
地址: | 100027 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及镀膜生产设备领域,提供了一种用于重稀土晶界扩渗的传输装置。该流水线包括用于将未镀膜的物料和单面镀膜的物料输送至PVD镀膜机进行镀膜的进料输送机构、用于将单面镀膜的物料输送至翻转机构以及双面镀膜的物料输送至出料输送机构的中间输送机构、用于将单面镀膜的物料翻转180°后输送至进料输送机构的翻转机构、用于将出料输送机构上的双面镀膜的物料抓取至料盘的物料机械手、用于将料盘抓取至料盒中后再将料盒抓取至料盒传输机构的料盒机械手、用于将料盒传输机构上的多个料盒逐个抓取堆放至转运小车上的堆垛机械手、以及转运小车。本实用新型不仅大大降低了工作人员的劳动强度、提高了生产效率,而且还保证了物料的洁净。 | ||
搜索关键词: | 料盒 抓取 单面镀膜 物料输送 出料输送机构 进料输送机构 本实用新型 传输机构 传输装置 翻转机构 双面镀膜 转运小车 机械手 重稀土 镀膜 晶界 料盘 镀膜生产 设备领域 生产效率 输送机构 物料翻转 物料抓取 流水线 堆放 洁净 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于重稀土晶界扩渗的传输装置,其特征在于,包括进料输送机构、中间输送机构、翻转机构、出料输送机构、物料机械手、料盒机械手、料盒传输机构和堆垛机械手;所述进料输送机构用于将未镀膜的物料输送至PVD镀膜机进行镀膜,以及将单面镀膜的物料输送至所述PVD镀膜机进行镀膜;所述中间输送机构用于将所述PVD镀膜机输出的单面镀膜的物料输送至所述翻转机构,以及将所述PVD镀膜机输出的双面镀膜的物料输送至所述出料输送机构;所述翻转机构用于将所述单面镀膜的物料翻转180°后输送至所述进料输送机构;所述物料机械手用于将所述出料输送机构上的所述双面镀膜的物料抓取至临近所述料盒机械手放置的料盘中;所述料盒机械手用于将装有所述双面镀膜的物料的料盘抓取至临近所述料盒机械手放置的料盒中后,再将所述料盒抓取至所述料盒传输机构;所述堆垛机械手用于将所述料盒传输机构上的多个所述料盒逐个抓取堆放至转运小车上;所述转运小车用于将所述料盒输送至真空扩渗炉进行扩渗,以及将完成扩渗的所述料盒输送至仓库。
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