[实用新型]一种晶圆自动检测系统

摘要

本实用新型涉及了一种晶圆自动检测系统，包括传送装置、工业相机、图像处理装置、控制器、及报警装置。通过传送装置上的传送带将晶圆传送至检测位置，工业相机对晶圆表面进行拍照取像，而后将其传送至图像处理装置，该图像处理装置根据设置于其内的产品标准参数与工业相机所取得的图像进行对比，从而判断该晶圆是否破片或具有表面缺陷，并发出判断信号给控制器，经过分析、处理，而后对报警装置发生动作指令信号，提醒操作人员对不合格晶圆进行分拣处理。该晶圆自动检测系统采用流水线连续检测模式，具有检测效率高、准确性高的优点。

主权项

1.一种晶圆自动检测系统，其特征在于，包括：传送装置，通过其上设置的传送带进行晶圆传送；工业相机，其设置于所述传送装置的正上方，用于采集晶圆影像信息；图像处理装置，用于根据对设于其内的产品标准参数和所述工业相机所取得图像进行对比，来判断晶圆是否合格，并发出判断信号；控制器，其实时接收所述图像处理装置得到的判断信号，并经过分析、处理后发生相应动作指令信号；报警装置，其与上述控制器相连，并根据所接收的上述动作指令信号发出警报；还包括与所述控制器相连的标识装置；所述标识装置包括有喷墨单元；所述传送装置其上设置有用于承载、运送所述晶圆的传送带，其通过位于两端的传动轮进行驱动。