[实用新型]一种晶圆自动检测系统有效
| 申请号： | 201721812827.8 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN207650119U | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 黄雷 | 申请（专利权）人： | 昆山成功环保科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892;B07C5/342 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄珩 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 图像处理装置 自动检测系统 工业相机 报警装置 传送装置 控制器 种晶 传送 动作指令信号 本实用新型 表面缺陷 产品标准 检测位置 晶圆表面 连续检测 判断信号 传送带 分拣 破片 取像 流水线 拍照 图像 检测 分析 | ||
1.一种晶圆自动检测系统，其特征在于，包括：
传送装置，通过其上设置的传送带进行晶圆传送；
工业相机，其设置于所述传送装置的正上方，用于采集晶圆影像信息；
图像处理装置，用于根据对设于其内的产品标准参数和所述工业相机所取得图像进行对比，来判断晶圆是否合格，并发出判断信号；
控制器，其实时接收所述图像处理装置得到的判断信号，并经过分析、处理后发生相应动作指令信号；
报警装置，其与上述控制器相连，并根据所接收的上述动作指令信号发出警报；
还包括与所述控制器相连的标识装置；
所述标识装置包括有喷墨单元；
所述传送装置其上设置有用于承载、运送所述晶圆的传送带，其通过位于两端的传动轮进行驱动。
2.根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统，其特征在于，还包括捡取机构，其与所述控制器相连，并根据所述动作指令信号对不合格晶圆进行捡取。
3.根据权利要求2所述的晶圆自动检测系统，其特征在于，所述捡取机构包括真空吸盘。
4.根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统，其特征在于，所述控制器为PLC控制器。
5.根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统，其特征在于，所述工业相机为高速CCD相机。
6.根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统，其特征在于，所述警报为声光警报。
7.根据权利要求1所述的晶圆自动检测系统，其特征在于，所述图像处理装置包括一DSP数字信号处理器和一高速RISC简化指令集计算机。
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