[实用新型]一种表面形貌测量装置

摘要

本实用新型涉及到表面形貌测量技术领域，其提供了一种表面形貌测量装置，包括：光源，用于产生宽谱带的出射光，传输到准直单元；准直单元，用于将出射光准直为平行光束，平行光束入射到探测单元；探测单元与待测物体表面设置成一定的角度，且探测单元使入射的光产生色散并聚焦后照射到待测物体表面；待测物体表面反射的光进入到接收单元，接收单元具有较大的数值孔径，对待测物体表面反射的光进行会聚和光路偏转；从接收单元出射的光进入到聚焦单元，聚焦单元将光聚焦到信息处理单元；信息处理单元将入射的光信号转换为电信号，并进行数据处理，以获取测量结果；位移单元在完成一次测量后，将整个装置移动一段距离，测量待测物体表面的其它部位。

主权项

1.一种表面形貌测量装置，其特征在于，包括光源、准直单元、探测单元、接收单元、聚焦单元、信息处理单元以及位移单元：其中，所述光源，用于产生宽谱带的出射光，传输到所述准直单元；所述准直单元，用于将所述出射光准直为平行光束，所述平行光束入射到所述探测单元；所述探测单元与待测物体表面设置成一定的角度，且所述探测单元使入射的光产生色散并聚焦后照射到所述待测物体表面；所述待测物体表面反射的光进入到所述接收单元，所述接收单元具有较大的数值孔径，对所述待测物体表面反射的光进行会聚和光路偏转；从所述接收单元出射的光进入到所述聚焦单元，所述聚焦单元将光聚焦到所述信息处理单元；所述信息处理单元将入射的光信号转换为电信号，并进行数据处理，以获取测量结果；所述位移单元在完成一次测量后，将整个装置移动一段距离，测量所述待测物体表面的其它部位。