[实用新型]一种表面形貌测量装置

权利要求书

1.一种表面形貌测量装置，其特征在于，包括光源、准直单元、探测单元、接收单元、聚焦单元、信息处理单元以及位移单元：其中，

所述光源，用于产生宽谱带的出射光，传输到所述准直单元；

所述准直单元，用于将所述出射光准直为平行光束，所述平行光束入射到所述探测单元；

所述探测单元与待测物体表面设置成一定的角度，且所述探测单元使入射的光产生色散并聚焦后照射到所述待测物体表面；

所述待测物体表面反射的光进入到所述接收单元，所述接收单元具有较大的数值孔径，对所述待测物体表面反射的光进行会聚和光路偏转；

从所述接收单元出射的光进入到所述聚焦单元，所述聚焦单元将光聚焦到所述信息处理单元；

所述信息处理单元将入射的光信号转换为电信号，并进行数据处理，以获取测量结果；

所述位移单元在完成一次测量后，将整个装置移动一段距离，测量所述待测物体表面的其它部位。

2.根据权利要求1所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述光源为白光光源或白光-红外光源。

3.根据权利要求1所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述准直单元为透镜、透镜组或者反射镜组成的准直系统。

4.根据权利要求1所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述探测单元对入射的光的色散为非轴向色散，生成的不同波长的光的焦点所形成的直线与所述待测物体表面垂直。

5.根据权利要求1所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述探测单元包括色散元件和透镜；

所述色散元件用于使入射的光产生色散；

所述透镜用于将色散后的光聚焦，并将聚焦后的光呈一定角度照射到所述待测物体表面。

6.根据权利要求5所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述色散元件为等边棱镜。

7.根据权利要求1中所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述接收单元包括透镜和棱镜；

所述透镜具有较大的数值孔径，对所述待测物体表面反射的光进行会聚；

所述棱镜对所述透镜会聚的光进行光路偏转。

8.根据权利要求1所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述信息处理单元包含将光信号转换为电信号的传感器，以及负责数据处理和自动化控制的处理器。

9.根据权利要求8所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述传感器为狭缝光谱仪。

10.根据权利要求1所述的表面形貌测量装置，其特征在于，所述位移单元为高精度的位移控制平台，至少提供二维或二维以上的精密移动。