[实用新型]一种共蒸发装置和制备电极的设备有效
| 申请号： | 201721784896.2 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207596947U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张晓琨;税烺 | 申请（专利权）人： | 成都亦道科技合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01M4/04;H01M4/1391 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 610213 四川省成都市天府新区天府大道*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及锂电池技术领域，尤其涉及一种共蒸发装置和制备电极的设备。本实用新型的共蒸发装置包括多个蒸发位、蒸发腔、至少一挡板以及基片台，多个蒸发位、挡板及基片台均收纳在蒸发腔内，多个蒸发位和基片台分别位于挡板的两侧，至少一挡板形成有一汇流口，多个蒸发位用于安装多个相同或者不同的蒸料，多个蒸发位上的多个蒸料蒸发产生的多个原子汇合在汇流口处形成一混合沉积源，基片台用于承载基片且相对于汇流口可移动。本实用新型的共蒸发装置和制备电极的设备可以同时进行多种蒸料的蒸发沉积镀膜，结构简单，操作方便，生产效率高，符合大规模生产的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 共蒸发 基片台 本实用新型 挡板 电极 汇流口 蒸料 制备 蒸发腔 承载基片 挡板形成 生产效率 蒸发沉积 收纳 沉积源 可移动 锂电池 镀膜 汇合 | ||
【主权项】：
1.一种共蒸发装置，其特征在于：所述共蒸发装置包括多个蒸发位、蒸发腔、至少一挡板以及基片台，所述多个蒸发位、挡板及基片台均收纳在蒸发腔内，所述多个蒸发位和基片台分别位于挡板的两侧，所述至少一挡板形成有一汇流口，所述多个蒸发位用于安装多个相同或者不同的蒸料，所述多个蒸发位上的多个蒸料蒸发产生的多个原子汇合在汇流口处形成一混合沉积源，所述基片台用于承载基片且相对于汇流口可移动。
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