[实用新型]一种共蒸发装置和制备电极的设备

说明书

本实用新型涉及锂电池技术领域，尤其涉及一种共蒸发装置和制备电极的设备。本实用新型的共蒸发装置包括多个蒸发位、蒸发腔、至少一挡板以及基片台，多个蒸发位、挡板及基片台均收纳在蒸发腔内，多个蒸发位和基片台分别位于挡板的两侧，至少一挡板形成有一汇流口，多个蒸发位用于安装多个相同或者不同的蒸料，多个蒸发位上的多个蒸料蒸发产生的多个原子汇合在汇流口处形成一混合沉积源，基片台用于承载基片且相对于汇流口可移动。本实用新型的共蒸发装置和制备电极的设备可以同时进行多种蒸料的蒸发沉积镀膜，结构简单，操作方便，生产效率高，符合大规模生产的需求。

【技术领域】

本实用新型涉及锂电池技术领域，尤其涉及一种共蒸发装置和制备电极的设备。

【背景技术】

离子电池商业化应用以来，其主要的正极材料包括：LiCoO2,LiNiO2,LiMn2O4,LiFePO4等。随着科技的发展，电子设备和电动汽车的对锂电池的提出了更高的要求，这一类正极材料的电压较低、容量较小的缺点日渐凸显出来。在新一代的正极材料中，高电压高理论容量金属氧化物Li_βM_xN_yQ_zO_α受到了广泛的关注。这一类正极材料具有较高的放电电压平台和较高的理论容量，因此未来有望在消费电子产品、电动工具和电动汽车领域得到推广。

这一类正极材料常见的制备方法是运用化学手段，采用固相生长或液相生长法制备，制备步骤较多、流程较长，且制备正极材料的装置结构都十分复杂，操作很不方便。

【实用新型内容】

针对上述问题，本实用新型提供一种共蒸发装置和制备电极的设备。

本实用新型解决技术问题的方案是提供一种共蒸发装置，所述共蒸发装置包括多个蒸发位、蒸发腔、至少一挡板以及基片台，所述多个蒸发位、挡板及基片台均收纳在蒸发腔内，所述多个蒸发位和基片台分别位于挡板的两侧，所述至少一挡板形成有一汇流口，所述多个蒸发位用于安装多个相同或者不同的蒸料，所述多个蒸发位上的多个蒸料蒸发产生的多个原子汇合在汇流口处形成一混合沉积源，所述基片台用于承载基片且相对于汇流口可移动。

优选地，所述蒸发位包括阻蒸位和/或电子束蒸发位，所述阻蒸位设置有电阻加热装置和蒸发舟，所述蒸发舟用于承载熔点低的蒸料，所述蒸发舟设置在电阻加热装置上方，所述电子束蒸发位上设置有电子枪和坩埚，所述坩埚用于承载熔点高的蒸料，所述坩埚设置在电子束蒸发位上方。

优选地，所述基片台是匀速移动的，基片台的移动速度为0.1mm/min～1mm/min。

优选地，所述挡板的数量为两个，两个挡板成角度设置且两者之间留有缝隙，多个蒸发位上的多个蒸料蒸发产生的多个原子汇合在缝隙处。

优选地，所述挡板为一个，挡板上开设有通孔，所述共蒸发装置还包括多个引导管，所述多个引导管的一端分别与多个靶位一一对应连接，另一端汇合在通孔处。

优选地，所述通孔的孔径或边长为1μm～0.1mm。

优选地，所述共蒸发装置还包括一冷却元件，所述冷却元件设置在蒸发腔内，其用于将挡板的热量传导走。

本实用新型还提供一种制备电极的设备，所述制备电极的设备包括如上所述的共蒸发装置和手套箱，所述共蒸发装置设置在手套箱中，所述手套箱中填充有保护性气体。

优选地，所述制备电极的设备还包括抽真空装置，所述抽真空装置与共蒸发装置的相连。

优选地，所述制备电极的设备还包括注气装置，所述注气装置与共蒸发装置相连，其可向共蒸发装置中注入气体。