[实用新型]基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器有效
| 申请号： | 201721777203.7 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207622684U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王文卷;赵新;米秀秀;李贤君;樊俊有 | 申请（专利权）人： | 陕西电器研究所 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01L1/22 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 佘文英 |
| 地址： | 710025 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测传感器，包括柔性扁平电缆、弹性结构体和金属敏感芯体。微型应力/应变传感器的弹性结构体内表面镀金属敏感芯体，形成金属薄膜敏感栅，并采用静电封装技术完成装配。将微型传感器埋入粘接界面，并使用粘接剂与上下表面粘接，传感器和信号解调模块用柔性扁平电缆连接，沿粘接界面粘接。本实用新型可实现对内部粘接结构进行实时在线的应力/应变、脱粘监测，并且传感器具有长期可靠性高、寿命长、测量精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 粘接界面 传感器 柔性扁平电缆 本实用新型 微型传感器 薄膜技术 敏感芯体 应变监测 溅射 粘接 信号解调模块 长期可靠性 弹性结构体 应变传感器 弹性结构 金属薄膜 上下表面 实时在线 体内表面 粘接结构 静电 镀金属 敏感栅 粘接剂 埋入 脱粘 封装 装配 测量 金属 监测 | ||
【主权项】：
1.一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述传感器包括柔性扁平电缆(1)、弹性结构体(2)和金属敏感芯体(3)，所述金属敏感芯体(3)通过溅射的方式将金属靶离子溅射到弹性结构体(2)表面，形状为丝栅环绕型，金属敏感芯体(3)感知弹性结构体(2)的应力和应变，以监测弹性结构体(2)表面的变形，对粘接界面的粘接应力和应变进行监测，其中扁平电缆(1)、弹性结构体(2)和金属敏感芯体(3)均为双层。
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