[实用新型]基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器

权利要求书

1.一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述传感器包括柔性扁平电缆(1)、弹性结构体(2)和金属敏感芯体(3)，所述金属敏感芯体(3)通过溅射的方式将金属靶离子溅射到弹性结构体(2)表面，形状为丝栅环绕型，金属敏感芯体(3)感知弹性结构体(2)的应力和应变，以监测弹性结构体(2)表面的变形，对粘接界面的粘接应力和应变进行监测，其中扁平电缆(1)、弹性结构体(2)和金属敏感芯体(3)均为双层。

2.根据权利要求1所述的一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述金属敏感芯体(3)由四组金属敏感栅(3b)电阻组成，并留有四个焊点(3a)，与柔性扁平电缆(1)的四个焊点连接，组成惠斯通电桥电路。

3.根据权利要求2所述的一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述金属敏感芯体(3)每层有一套惠斯通电桥电路，构成双路敏感芯体，上层敏感芯体测量待测粘接界面上表面结构的变形，下层敏感芯体测量待测粘接界面下表面的结构变形。

4.根据权利要求2所述的一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述金属敏感芯体(3)一端的焊点(3a)与扁平电缆(1)连接，将金属靶离子溅射到扁平电缆(1)连接处，实现电信号传播，将金属敏感芯体(3)感知的应力和应变信息传递到外部接收系统。

5.根据权利要求2所述的一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述的金属敏感栅(3b)表面镀有一层Si₃N₄保护膜，其保护膜厚度比金属敏感栅(3b)厚度小。

6.根据权利要求1所述的一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器，其特征在于：所述金属敏感芯体(3)、弹性结构体(2)与扁平电缆(1)利用静电封装技术实现封装、密封。