[实用新型]一种用于固晶机的推顶系统有效
| 申请号： | 201721729741.9 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207542225U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 汤志鹏;殷海涛 | 申请（专利权）人： | 苏州聚进顺自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于固晶机的推顶系统。推顶系统包括顶针和驱动装置，还包括一导轨座，所述驱动装置驱动一移动座在导轨座内上下运动，所述导轨座具有空腔，所述导轨座上空腔两侧设置有滑轨，所述移动座两侧均与滑轨相连，所述导轨座两侧设置有固定座，所述固定座上设置有通孔，所述通孔连接真空设备，所述移动座上设置有顶针。本实用新型的结构简单，通过连接真空设备的通孔吸附晶片薄膜，导轨座和固定座分开设置，减少通孔处的真空对晶片产生的影响，避免了晶片被吸附，从而提高了工作效率，同时，通过设置滑轨和移动座，顶针不易发生倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 导轨座 移动座 通孔 顶针 推顶系统 固定座 滑轨 本实用新型 两侧设置 驱动装置 真空设备 固晶机 晶片 分开设置 工作效率 上下运动 吸附晶片 上空腔 空腔 吸附 薄膜 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种用于固晶机的推顶系统，包括顶针和驱动装置，其特征是，还包括一导轨座，所述驱动装置驱动一移动座在导轨座内上下运动，所述导轨座具有空腔，所述导轨座上空腔两侧设置有滑轨，所述移动座两侧均与滑轨相连，所述导轨座两侧设置有固定座，所述固定座上设置有通孔，所述通孔连接真空设备，所述移动座上设置有顶针。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
