[实用新型]一种用于固晶机的推顶系统有效
申请号: | 201721729741.9 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN207542225U | 公开(公告)日: | 2018-06-26 |
发明(设计)人: | 汤志鹏;殷海涛 | 申请(专利权)人: | 苏州聚进顺自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 导轨座 移动座 通孔 顶针 推顶系统 固定座 滑轨 本实用新型 两侧设置 驱动装置 真空设备 固晶机 晶片 分开设置 工作效率 上下运动 吸附晶片 上空腔 空腔 吸附 薄膜 驱动 | ||
1.一种用于固晶机的推顶系统,包括顶针和驱动装置,其特征是,还包括一导轨座,所述驱动装置驱动一移动座在导轨座内上下运动,所述导轨座具有空腔,所述导轨座上空腔两侧设置有滑轨,所述移动座两侧均与滑轨相连,所述导轨座两侧设置有固定座,所述固定座上设置有通孔,所述通孔连接真空设备,所述移动座上设置有顶针。
2.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述顶针包括顶针座和顶针尖,所述顶针座设置有连接腔,所述顶针尖设置有连接腔对应的连接件。
3.根据权利要求2所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述连接腔的横截面非圆形。
4.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述移动座上设置有支撑顶针的顶杆,所述顶杆上设置有与顶针相连的连接部。
5.根据权利要求4所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述顶杆设置有两个,所述连接部为半圆形,一锁紧环连接两个顶杆的连接部。
6.根据权利要求4所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述连接部处设置有弹性垫。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州聚进顺自动化科技有限公司,未经苏州聚进顺自动化科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721729741.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:晶圆固定装置
- 下一篇:一种固晶机的顶针装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造