[实用新型]一种用于固晶机的推顶系统有效

专利信息
申请号: 201721729741.9 申请日: 2017-12-13
公开(公告)号: CN207542225U 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 汤志鹏;殷海涛 申请(专利权)人: 苏州聚进顺自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 导轨座 移动座 通孔 顶针 推顶系统 固定座 滑轨 本实用新型 两侧设置 驱动装置 真空设备 固晶机 晶片 分开设置 工作效率 上下运动 吸附晶片 上空腔 空腔 吸附 薄膜 驱动
【权利要求书】:

1.一种用于固晶机的推顶系统,包括顶针和驱动装置,其特征是,还包括一导轨座,所述驱动装置驱动一移动座在导轨座内上下运动,所述导轨座具有空腔,所述导轨座上空腔两侧设置有滑轨,所述移动座两侧均与滑轨相连,所述导轨座两侧设置有固定座,所述固定座上设置有通孔,所述通孔连接真空设备,所述移动座上设置有顶针。

2.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述顶针包括顶针座和顶针尖,所述顶针座设置有连接腔,所述顶针尖设置有连接腔对应的连接件。

3.根据权利要求2所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述连接腔的横截面非圆形。

4.根据权利要求1所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述移动座上设置有支撑顶针的顶杆,所述顶杆上设置有与顶针相连的连接部。

5.根据权利要求4所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述顶杆设置有两个,所述连接部为半圆形,一锁紧环连接两个顶杆的连接部。

6.根据权利要求4所述的一种用于固晶机的推顶系统,其特征是,所述连接部处设置有弹性垫。

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