[实用新型]一种单晶硅片双面研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片双面研磨装置，包括底座，所述底座上固定连接有齿杆和两个立柱，所述齿杆位于两个立柱之间，所述齿杆的一端固定连接有安装板，所述齿杆的一端还设有第一安装槽，所述第一安装槽上固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆的一端连接在第一安装槽的侧壁上，所述弹簧杆的另一端固定连接有挤压块，所述挤压块上设有卡槽，所述卡槽上连接有装载板，所述装载板内穿插有样品，本实用新型结构简单操作容易，通过卡槽、安装块、夹板以及螺纹杆等结构的相互作用，可以使得样品被夹紧和定位，这样其一可以节省劳动力，其二可以使得机械代替手工提高成品率以及工作效率。

主权项

1.一种单晶硅片双面研磨装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上固定连接有齿杆（11）和两个立柱（7），所述齿杆（11）位于两个立柱（7）之间，所述齿杆（11）的一端固定连接有安装板（10），所述齿杆（11）的一端还设有第一安装槽，所述第一安装槽上固定连接有弹簧杆（2），所述弹簧杆（2）的一端连接在第一安装槽的侧壁上，所述弹簧杆（2）的另一端固定连接有挤压块（3），所述挤压块（3）上设有卡槽，所述卡槽上连接有装载板（8），所述装载板（8）内穿插有样品（19），所述装载板（8）上滑动连接有夹板（18），所述夹板（18）的一侧固定连接有安装块（17），所述安装块（17）上穿插有螺纹杆（21），所述螺纹杆（21）的一端穿过安装块（17）连接在夹板（18）的一侧，所述装载板（8）的一端设有齿板（14），所述齿板（14）上设有卡槽（16），所述卡槽（16）的一侧壁为倾斜设置，所述卡槽（16）的另一侧壁为垂直设置，所述装载板（8）的一端的两侧也为倾斜设置且卡在卡槽（16）上，所述齿板（14）的一侧啮合连接有齿轮（13），所述齿轮（13）的中心处穿插有转动杆（12），所述转动杆（12）的一端固定连接在安装板（10）上，所述齿轮（13）的另一端连接有齿杆（11），所述齿杆（11）的一端穿过安装板（10）的侧壁并连接有把手，所述安装板（10）的一侧还设有安装口（15），所述样品（19）的一侧设有磨盘（20），所述磨盘（20）的另一侧连接有转轴（9），所述转轴（9）的另一端连接有驱动电机，所述驱动电机的另一侧连接有连接杆（6），所述连接杆（6）的另一端连接有移动块（5），所述移动块（5）上对称穿插有滑轨（4），所述滑轨（4）的一端穿过移动块（5）、立柱（7）以及驱动电机并连接在安装板（10）的一端。