[实用新型]一种单晶硅片双面研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片双面研磨装置，包括底座，所述底座上固定连接有齿杆和两个立柱，所述齿杆位于两个立柱之间，所述齿杆的一端固定连接有安装板，所述齿杆的一端还设有第一安装槽，所述第一安装槽上固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆的一端连接在第一安装槽的侧壁上，所述弹簧杆的另一端固定连接有挤压块，所述挤压块上设有卡槽，所述卡槽上连接有装载板，所述装载板内穿插有样品，本实用新型结构简单操作容易，通过卡槽、安装块、夹板以及螺纹杆等结构的相互作用，可以使得样品被夹紧和定位，这样其一可以节省劳动力，其二可以使得机械代替手工提高成品率以及工作效率。

技术领域

本实用新型涉及研磨设备技术领域，尤其涉及一种单晶硅片双面研磨装置。

背景技术

硅片在生产过程中由于尺度可能存在一定的偏差，因此就需要人工手持的方式在砂轮的来回校正，但是由于采用手持的方式，因此该操作就会带来以下缺点：

1，浪费专门研磨的1个劳动力；

2，由于手持过程中可能会出现轻微晃动，导致研磨的平整度人为很难把握，报废率相对较大；人工操作，效率相对不高。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：浪费专门研磨的1个劳动力；由于手持过程中可能会出现轻微晃动，导致研磨的平整度人为很难把握，报废率相对较大；人工操作，效率相对不高。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶硅片双面研磨装置，包括底座，所述底座上固定连接有齿杆和两个立柱，所述齿杆位于两个立柱之间，所述齿杆的一端固定连接有安装板，所述齿杆的一端还设有第一安装槽，所述第一安装槽上固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆的一端连接在第一安装槽的侧壁上，所述弹簧杆的另一端固定连接有挤压块，所述挤压块上设有卡槽，所述卡槽上连接有装载板，所述装载板内穿插有样品，所述装载板上滑动连接有夹板，所述夹板的一侧固定连接有安装块，所述安装块上穿插有螺纹杆，所述螺纹杆的一端穿过安装块连接在夹板的一侧，所述装载板的一端设有齿板，所述齿板上设有卡槽，所述卡槽的一侧壁为倾斜设置，所述卡槽的另一侧壁为垂直设置，所述装载板的一端的两侧也为倾斜设置且卡在卡槽上，所述齿板的一侧啮合连接有齿轮，所述齿轮的中心处穿插有转动杆，所述转动杆的一端固定连接在安装板上，所述齿轮的另一端连接有齿杆，所述齿杆的一端穿过安装板的侧壁并连接有把手，所述安装板的一侧还设有安装口，所述样品的一侧设有磨盘，所述磨盘的另一侧连接有转轴，所述转轴的另一端连接有驱动电机，所述驱动电机的另一侧连接有连接杆，所述连接杆的另一端连接有移动块，所述移动块上对称穿插有滑轨，所述滑轨的一端穿过移动块、立柱以及驱动电机并连接在安装板的一端。

优选的，所述装载板的一端为倾斜设置且卡在卡槽内，所述齿板的一端设有与装载板一端相匹配的第一斜边。

优选的，所述挤压块上两侧壁上均设有第二斜边，所述第二斜边的角度为45°。

优选的，所述把手上设有橡胶垫，所述橡胶垫上设有防滑纹。

优选的，所述立柱和底座为一体成型。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：结构简单操作容易，通过卡槽、安装块、夹板以及螺纹杆等结构的相互作用，可以使得样品被夹紧和定位，这样其一可以节省劳动力，其二可以使得机械代替手工提高成品率以及工作效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶硅片双面研磨装置的正面结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种单晶硅片双面研磨装置的俯视结构示意图；

图3为图1中A的局部放大结构示意图。