[实用新型]管式PECVD设备的法兰拆装机构有效
申请号: | 201721683454.9 | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN207548652U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 陈林;张建峰;乔勇 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | B25B27/02 | 分类号: | B25B27/02 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 毕翔宇 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,尤其是涉及一种管式PECVD设备的法兰拆装机构,以缓解现有技术中存在的PECVD设备的法兰拆装不便、密封圈更换不便的技术问题。包括支撑本体、定位机构以及法兰抓取机构;定位机构安装于支撑本体且与设备可拆卸连接;法兰抓取机构安装于支撑本体,用于抓取法兰,法兰抓取机构可相对于支撑本体移动使抓取的法兰脱离设备。本实用新型提供的法兰拆装机构能够方便拆卸PECVD设备的法兰,使得密封圈的更换方便进行。 | ||
搜索关键词: | 法兰 法兰拆装 抓取机构 密封圈 抓取 本实用新型 定位机构 支撑 太阳能电池生产设备 可拆卸连接 方便拆卸 脱离设备 管式 种管 缓解 移动 | ||
【主权项】:
1.一种管式PECVD设备的法兰拆装机构,其特征在于,包括支撑本体(100)、定位机构(200)以及法兰抓取机构(300);所述定位机构(200)安装于所述支撑本体(100)且与所述设备可拆卸连接;所述法兰抓取机构(300)安装于所述支撑本体(100),用于抓取法兰,所述法兰抓取机构(300)可相对于所述支撑本体(100)移动使抓取的所述法兰脱离所述设备。
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