[实用新型]管式PECVD设备的法兰拆装机构

说明书

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其是涉及一种管式PECVD设备的法兰拆装机构，以缓解现有技术中存在的PECVD设备的法兰拆装不便、密封圈更换不便的技术问题。包括支撑本体、定位机构以及法兰抓取机构；定位机构安装于支撑本体且与设备可拆卸连接；法兰抓取机构安装于支撑本体，用于抓取法兰，法兰抓取机构可相对于支撑本体移动使抓取的法兰脱离设备。本实用新型提供的法兰拆装机构能够方便拆卸PECVD设备的法兰，使得密封圈的更换方便进行。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其是涉及一种管式PECVD设备的法兰拆装机构。

背景技术

在PERC太阳能电池片生产过程中，管式PECVD中炉管的漏率是管件工艺参数之一，在合格漏率条件下，管式PECVD中炉管内混合气体并经过高温、射频电离化学反应掺杂进入硅片表面，形成镀膜层。

然而，目前工艺设备中因为密封圈高温老化，漏率超标，导致混合气体在工艺过程存在减少、不均匀现象，导致实际生产过程中，出现镀膜发蓝、镀膜颜色渐变，设备漏率偏差、真空压力异常报警等现象，从而导致了镀膜硅片返工、异常宕机，增加企业生成成本。为了获得良好的混合气体稳定性，需要定期对高温老化密封圈进行周期性更换维护，更换时存在需要拆装法兰，将法兰拆卸之后再更换密封圈，然而拆装过程复杂、耗时耗力、存在高温烫伤、砸伤，石英件损坏等安全和风险，从而产生的人身安全及损耗费用增加。

因此，现有技术中存在PECVD中炉管的法兰拆装不便以及密封圈更换不便的技术问题成为人们亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管式PECVD设备的法兰拆装机构，以缓解现有技术中存在的PECVD中炉管的法兰拆装不便以及密封圈更换不便的技术问题。

为缓解上述技术问题，本发明提供的技术方案在于：

一种管式PECVD设备的法兰拆装机构，包括支撑本体、定位机构以及法兰抓取机构；

所述定位机构安装于所述支撑本体且与所述设备可拆卸连接；

所述法兰抓取机构安装于所述支撑本体，用于抓取法兰，所述法兰抓取机构可相对于所述支撑本体移动使抓取的所述法兰脱离所述设备。

更进一步地，

所述法兰抓取机构包括相互连接的抓取部以及拉动部；

所述拉动部带动所述抓取部靠近或者远离所述设备；当拆卸法兰时，所述抓取部与所述支撑本体之间形成供所述抓取部沿远离所述设备方向运动的移动空间。

更进一步地，

所述拉动部的一端与所述抓取部连接，另一端穿过并探出于所述支撑本体。

更进一步地，

所述抓取部包括多个抓取单元，多个所述抓取单元之间形成抓取所述法兰的容纳空间。

更进一步地，

所述抓取单元包括抓手和紧固件，所述紧固件将所述抓手与所述法兰固定。

更进一步地，

所述抓手包括平直段和竖直段，所述平直段平行于所述支撑本体，所述竖直段垂直于所述平直段且朝远离所述支撑本体的方向延伸。

更进一步地，

所述定位机构包括多个活动定位单元，所述活动定位单元与所述支撑本体活动连接，并将所述支撑本体固定于所述设备。

更进一步地，

所述活动定位单元包括定位杆以及锁紧件；所述定位杆与所述设备可拆卸连接，并可相对于所述支撑本体滑动以调节所述定位杆的安装位置；