[实用新型]一种用于检测气体成分的传感器有效
| 申请号: | 201721610599.6 | 申请日: | 2017-11-24 |
| 公开(公告)号: | CN207751920U | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
| 发明(设计)人: | 高致慧;房瑞阳;李辉;林伟豪;贺威;黄辉;李玲 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
| 主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
| 代理公司: | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人: | 刘显扬 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种用于检测气体成分的传感器,其特征在于,包括基底和设置在所述基底表面的、连续的石墨烯层;所述基底包括设置在半导体材料上的电极层,所述电极层包括至少两个相互隔离的电极;所述石墨烯层覆盖在所述电极层和由于所述电极的隔离而露出的基底表面上。实施本实用新型的一种用于检测气体成分的传感器,具有以下有益效果:其灵敏度较高、感应信号处理较为容易、检测结果较为准确。 | ||
| 搜索关键词: | 电极层 传感器 本实用新型 基底表面 石墨烯层 电极 基底 检测 半导体材料 隔离 检测结果 信号处理 灵敏度 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种用于检测气体成分的传感器,其特征在于,包括基底和设置在所述基底表面的、连续的石墨烯层;所述基底包括设置在半导体材料上的电极层,所述电极层包括至少两个相互隔离的电极;所述石墨烯层覆盖在所述电极层和由于所述电极的隔离而露出的基底表面上。
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