[实用新型]一种微透镜阵列成像光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒下端与成像板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。

主权项

1.一种微透镜阵列成像光刻装置，其特征在于，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述小伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒与外筒通过外筒上的滑道滑动连接，所述外筒下端与底板通过焊接固定连接，所述内筒下端与小伸缩套杆通过焊接固定连接，所述小伸缩套杆下端套在大伸缩套杆内部，所述大伸缩套杆套在大伸缩筒内部，所述大伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述大伸缩筒上端与大弹簧通过焊接固定连接，所述大伸缩套杆和所述小伸缩套杆套在大弹簧内部，所述内筒下端与成像板固定连接，所述外筒上端与支撑板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。