[实用新型]一种微透镜阵列成像光刻装置

说明书

本实用新型公开了一种微透镜阵列成像光刻装置设备，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒下端与成像板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。

技术领域

本实用新型属于微透镜阵列技术领域，具体涉及一种微透镜阵列成像光刻装置。

背景技术

微米、亚微米特征尺寸周期结构在构成新型人工材料(如低折射率材料、负折射率材料、抗反射材料等)和器件(如频率选择表面等)方面有着广阔的应用前景。目前常用的微纳尺度周期结构加工方法主要有传统的光刻技术和激光束、电子束直写技术等。

传统的光刻技术需要制备专用的铬掩模，铬掩模的通用性较差，且铬掩模的制备需要专用的加工设备。

激光束写技术可制备特征尺寸500nm以上的图形，它采用逐点写入方式，因此加工效率较低，此外激光束写设备的成本较高。

电子束直写与激光束写技术相似，也采用逐点写入方式，但由于电子束波长更低，因此可加工更小特征尺寸的图形，同时设备的成本更高，加工效率更低，难以制备大面积图形。

如何低成本、高效率的制备微米、亚微米特征尺寸周期结构图形是目前急需解决的问题。。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种微透镜阵列成像光刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种微透镜阵列成像光刻装置，包括底板，所述底板上端设有记录基片，所述记录基片上端设有散射板，所述散射板上端设有第一镜片组，所述记录基片左右两端均与伸缩直杆通过焊接固定连接，所述伸缩直杆下端套在小伸缩筒内，所述小伸缩筒上端与小弹簧通过焊接固定连接，所述伸缩直杆套在小弹簧内部，所述小伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述第一镜片组左右两端均与内筒通过胶体固定连接，所述内筒与外筒通过外筒上的滑道滑动连接，所述外筒下端与底板通过焊接固定连接，所述内筒下端与小伸缩套杆通过焊接固定连接，所述小伸缩套杆下端套在大伸缩套杆内部，所述大伸缩套杆套在大伸缩筒内部，所述大伸缩筒下端与底板通过焊接固定连接，所述大伸缩筒上端与大弹簧通过焊接固定连接，所述大伸缩套杆和所述小伸缩套杆套在大弹簧内部，所述内筒下端与成像板固定连接，所述支撑板下端与显微镜固定连接，所述内筒内部与固定板固定连接，所述固定板上端与微透镜阵列固定连接，所述成像板下端与支撑架固定连接，所述支撑架内部与曝光光源固定连接。

进一步地，所述内筒下端与一级连接环通过焊接固定连接，所述一级连接环共设有2个，且对称分布，所述一级连接环上与连接线的一端固定连接，所述连接线搭在滑轮上，并且绕过一级拉环，所述连接线另一端固定在另一个一级连接环上，所述一级连接环、连接线和一级拉环实现了对内筒高度的调节。

进一步地，所述记录基片下端与二级连接环通过焊接固定连接，所述二级连接环共设有2个，且对称分布，所述二级连接环上与连接线的一端固定连接，所述连接线搭在滑轮上，并且绕过二级拉环，所述连接线的另一端固定在另一个二级连接环上，所述二级连接环、连接线和二级拉环实现了对记录基片高度和长度的调节。

进一步地，所述内筒上端与支撑架通过焊接固定连接，所述支撑架内部与平面镜片通过胶体固定连接，支撑架实现了对平面镜片的固定，保证了平面镜片的稳定性。

进一步地，所述内筒左右两端与密封套通过胶体固定连接，所述密封套的另一端搭在外筒上，密封套实现了内筒和外筒的密封，保证了装置内部的与外界空气隔绝，保证正常运行。