[实用新型]一种二氧化硅薄膜的生产设备

摘要

本实用新型公开了一种二氧化硅薄膜的生产设备，包括氮气生成罐、臭氧发生罐和反应腔室，所述氮气生成罐侧面设有固定环，所述固定环嵌套设置于所述氮气生成罐上，所述氮气生成罐侧面的一端设有密封盖，所述密封盖覆盖设置于所述氮气生成罐上，所述密封盖侧面设有活动轴，且所述密封盖与所述氮气生成罐通过所述活动轴活动连接，所述密封盖一侧设有阀杆，所述阀杆嵌入设置于所述密封盖内，所述阀杆顶部设有阀门，所述阀门与所述密封盖通过所述阀杆活动连接，此种二氧化硅薄膜的生产设备，工作效率高，资源利用合理，材料得到有效利用，产品质量更高，使用寿命长，而且使用灵活，装卸便捷，铸造成本小，具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种二氧化硅薄膜的生产设备，包括氮气生成罐(1)、臭氧发生罐(9)和反应腔室(17)，其特征在于：所述氮气生成罐(1)侧面设有固定环(2)，所述固定环(2)嵌套设置于所述氮气生成罐(1)上，所述氮气生成罐(1)侧面的一端设有密封盖(5)，所述密封盖(5)覆盖设置于所述氮气生成罐(1)上，所述密封盖(5)侧面设有活动轴(4)，且所述密封盖(5)与所述氮气生成罐(1)通过所述活动轴(4)活动连接，所述密封盖(5)一侧设有阀杆(6)，所述阀杆(6)嵌入设置于所述密封盖(5)内，所述阀杆(6)顶部设有阀门(7)，所述阀门(7)与所述密封盖(5)通过所述阀杆(6)活动连接，所述氮气生成罐(1)一侧设有臭氧发生罐(9)，所述氮气生成罐(1)和所述臭氧发生罐(9)一侧均设有输送管(10)，所述输送管(10)分别嵌入设置于所述氮气生成罐(1)和所述臭氧发生罐(9)内，所述输送管(10)一侧设有过滤腔室(12)，所述过滤腔室(12)顶部设有过滤器(13)，所述过滤器(13)覆盖设置于所述过滤腔室(12)上，并与所述过滤腔室(12)通过螺栓固定连接，所述过滤腔室(12)侧面设有检修门(14)，所述检修门(14)覆盖设置于所述过滤腔室(12)上，所述检修门(14)一侧设有转轴(16)，所述转轴(16)嵌入设置于所述检修门(14)内，且所述检修门(14)与所述过滤腔室(12)通过所述转轴(16)活动连接，所述过滤腔室(12)一侧设有反应腔室(17)。