[实用新型]一种单晶炉停炉慢散热装置有效
| 申请号： | 201721529547.6 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN207418910U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 史二庆 | 申请（专利权）人： | 四川高铭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 62500*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种单晶炉停炉慢散热控制装置，包括由基台、坩埚旋转提升机构、垂直伸缩台和位移传感器构成的坩埚位移调控单元，由主加热器、副加热器、主电极、副电极和电路控制器构成的热调控单元和用于调控坩埚位移调控单元和热调控单元协调工作的自动化调控装置。本实用新型通过热调控单元在停炉过程中保持部分加热功率，使坩埚内剩余熔液缓慢向上挤压生长，避免骤冷引起的晶体体积无序膨胀，有利于保护石英坩埚，延长其使用寿命。同时，配合坩埚位移调控单元对埚位的下调，以避免埚内余液形成的晶体结构对单晶棒成品的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 位移调控单元 热调控 停炉 单晶炉 散热控制装置 本实用新型 电路控制器 位移传感器 自动化调控 垂直伸缩 单元协调 副加热器 加热功率 晶体结构 散热装置 石英坩埚 使用寿命 旋转提升 主加热器 单晶棒 副电极 主电极 基台 熔液 余液 骤冷 挤压 膨胀 下调 生长 调控 配合 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉停炉慢散热控制装置，其特征在于，包括坩埚位移调控单元（10）、热调控单元（20）和自动化调控装置（30）；所述坩埚位移调控单元（10）包括基台（1）、坩埚旋转提升机构（2）、垂直伸缩台（3）和位移传感器（4），炉体（9）固定设置于所述基台（1）表面，所述炉体（9）内坩埚托杆（91）贯穿所述基台（1）与固定设置于所述垂直伸缩台（3）表面的所述坩埚旋转提升机构（2）相连，所述位移传感器（4）设置于所述垂直伸缩台（3）底部；所述热调控单元（20）包括主加热器（51）、副加热器（52）、主电极（61）、副电极（62）和电路控制器（7），所述主加热器（51）和所述副加热器（52）分别固设有与所述电路控制器（7）相连的所述主电极（61）和所述副电极（62），所述主加热器（51）和所述副加热器（52）呈圆筒状排列围设于所述坩埚托杆（91）外侧的所述炉体（9）内；所述自动化调控装置（30）分别与所述位移传感器（4）和所述电路控制器（7）相连。
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