[实用新型]一种单晶炉停炉慢散热装置有效
| 申请号： | 201721529547.6 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN207418910U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 史二庆 | 申请（专利权）人： | 四川高铭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B15/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 62500*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 位移调控单元 热调控 停炉 单晶炉 散热控制装置 本实用新型 电路控制器 位移传感器 自动化调控 垂直伸缩 单元协调 副加热器 加热功率 晶体结构 散热装置 石英坩埚 使用寿命 旋转提升 主加热器 单晶棒 副电极 主电极 基台 熔液 余液 骤冷 挤压 膨胀 下调 生长 调控 配合 | ||
1.一种单晶炉停炉慢散热控制装置，其特征在于，包括坩埚位移调控单元（10）、热调控单元（20）和自动化调控装置（30）；
所述坩埚位移调控单元（10）包括基台（1）、坩埚旋转提升机构（2）、垂直伸缩台（3）和位移传感器（4），炉体（9）固定设置于所述基台（1）表面，所述炉体（9）内坩埚托杆（91）贯穿所述基台（1）与固定设置于所述垂直伸缩台（3）表面的所述坩埚旋转提升机构（2）相连，所述位移传感器（4）设置于所述垂直伸缩台（3）底部；
所述热调控单元（20）包括主加热器（51）、副加热器（52）、主电极（61）、副电极（62）和电路控制器（7），所述主加热器（51）和所述副加热器（52）分别固设有与所述电路控制器（7）相连的所述主电极（61）和所述副电极（62），所述主加热器（51）和所述副加热器（52）呈圆筒状排列围设于所述坩埚托杆（91）外侧的所述炉体（9）内；
所述自动化调控装置（30）分别与所述位移传感器（4）和所述电路控制器（7）相连。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉停炉慢散热控制装置，其特征在于，所述坩埚托杆（91）中轴线、所述坩埚旋转提升机构（2）驱动位点和所述垂直伸缩台（3）中心位于同一轴线上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉停炉慢散热控制装置，其特征在于，所述基台（1）台面采用水泥隔离台面。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉停炉慢散热控制装置，其特征在于，所述垂直伸缩台（3）采用固定式液压升降平台。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉停炉慢散热控制装置，其特征在于，所述位移传感器（4）采用电感式线性位移传感器。
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