[实用新型]一种钼屏单晶炉热场

摘要

本实用新型公开了一种钼屏单晶炉热场，包括导流筒和坩埚，所述导流筒最外层设有外筒，所述外筒内侧设有内筒，所述内筒顶部向外弯曲形成钩部，所述钩部与所述外筒固定连接，所述内筒的内侧设有钼屏，所述钼屏内部为导流通道，所述导流筒底部设有导流板，所述导流板通过连接机构与所述外筒的下端凸出部固定连接，所述导流板与所述导流通道之间设有隔板，所述坩埚包括石墨坩埚和设置于其内侧的石英坩埚，所述石英坩埚内部架设有环形钼屏。本实用新型在生产中的热屏中间加上一层钼屏，此方法可以在生产中加大热场的横向梯度，造成热屏中间的温度略低于石英坩埚四周的温度，且温度稳定为晶棒长晶提供有利条件，更能提高长晶的速度，提高了生产效率。

主权项

1.一种钼屏单晶炉热场，包括导流筒（10）和坩埚（20），其特征在于：所述导流筒（10）最外层设有外筒（15），所述外筒（15）内侧设有内筒（14），所述内筒（14）顶部向外弯曲形成钩部，所述钩部与所述外筒（15）固定连接，所述内筒（14）的内侧设有钼屏（12），所述钼屏（12）内部为导流通道（13），所述导流筒（10）底部设有导流板（17），所述导流板（17）通过连接机构（11）与所述外筒（15）的下端凸出部固定连接，所述导流板（17）与所述导流通道（13）之间设有隔板（16），所述坩埚（20）包括石墨坩埚（22）和设置于其内侧的石英坩埚（21），所述石英坩埚（21）内部架设有环形钼屏（23）。