[实用新型]清洗系统有效
| 申请号： | 201721488698.1 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN207507901U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;张浩强;刘彬;赵萌萌 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王丽巧 |
| 地址： | 054001 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于清洗技术领域，提供了一种清洗系统。包括：用于放置待清洗埚底料的清洗槽、控制单元、加热单元和超声波单元，所述加热单元和所述超声波单元设置在所述清洗槽的内部，所述控制单元分别连接所述加热单元和所述超声波单元，所述控制单元在所述加热单元加热所述清洗槽中清洗液到预设温度后，关闭所述加热单元，并开启所述超声波单元。采用上述方案后，提高了多晶硅的浓度，降低了多晶硅的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 加热单元 超声波单元 清洗槽 清洗系统 多晶硅 本实用新型 清洗技术 清洗液 埚底料 预设 加热 生产成本 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种清洗系统，其特征在于，包括：用于放置待清洗埚底料的清洗槽、控制单元、加热单元和超声波单元，所述加热单元和所述超声波单元设置在所述清洗槽的内部，所述控制单元分别连接所述加热单元和所述超声波单元，所述控制单元在所述加热单元加热所述清洗槽中清洗液到预设温度后，关闭所述加热单元，并开启所述超声波单元。
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