[实用新型]一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具有效
| 申请号： | 201721457509.4 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN207372944U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 赖柏帆;苏双图 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，包括上圆盘、螺纹圆柱体和下圆盘，所述上圆盘中部开设有柱体安装孔，且上圆盘侧面均匀开设有固定孔，所述固定孔内部安装有螺柱结构，且螺柱结构下方安装在下圆盘上开设的螺纹孔内部，所述上圆盘中部开设的柱体安装孔与螺纹圆柱体螺接在一起，且螺纹圆柱体上方开设的凹槽内部安装有碳化硅晶棒。该改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，采用胶水将带有螺纹圆柱体端面上的凹槽内部粘住碳化硅晶棒的端面，不仅避免了夹持过程中出现崩角，提高了产品的品质和良率，端面定向精度由于在端面研磨过程中不会出现向传统晶棒那样难以夹持易滑动的情况下，定向精度也得到了有效提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 碳化硅 端面 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种改善碳化硅晶棒端面研磨的治具，包括上圆盘(1)、螺纹圆柱体(3)和下圆盘(4)，其特征在于：所述上圆盘(1)中部开设有柱体安装孔(6)，且上圆盘(1)侧面均匀开设有固定孔(7)，所述固定孔(7)内部安装有螺柱结构(5)，且螺柱结构(5)下方安装在下圆盘(4)上开设的螺纹孔(12)内部，所述固定孔(7)下方中部开设有定位孔(11)，所述上圆盘(1)中部开设的柱体安装孔(6)与螺纹圆柱体(3)螺接在一起，且螺纹圆柱体(3)上方开设的凹槽(10)内部安装有碳化硅晶棒(2)。
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