[实用新型]电源内置风扇的监控装置有效
| 申请号： | 201721418204.2 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN207339716U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 唐瑞龙;倪明明;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H02P29/024 | 分类号： | H02P29/024;H02P29/60;G01R31/34 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电源内置风扇的监控装置。所述电源内置风扇的监控装置，包括第一传感器和控制器；所述第一传感器，连接所述控制器，用于检测风扇内部的电信号并传输至所述控制器；所述控制器，用于判断所述电信号是否超出第一预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。本实用新型可以实时、准确的了解风扇是否出现异常，避免了人工检查方式的漏检性和延误性，防止了在晶圆生产设备运行过程中因风扇异常而导致的一系列问题，在提高设备使用寿命的同时，也确保了晶圆产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 内置 风扇 监控 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电源内置风扇的监控装置，其特征在于，包括第一传感器和控制器；所述第一传感器，连接所述控制器，用于检测风扇内部的电信号并传输至所述控制器；所述控制器，用于判断所述电信号是否超出第一预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。
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