[实用新型]电源内置风扇的监控装置

说明书

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电源内置风扇的监控装置。所述电源内置风扇的监控装置，包括第一传感器和控制器；所述第一传感器，连接所述控制器，用于检测风扇内部的电信号并传输至所述控制器；所述控制器，用于判断所述电信号是否超出第一预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。本实用新型可以实时、准确的了解风扇是否出现异常，避免了人工检查方式的漏检性和延误性，防止了在晶圆生产设备运行过程中因风扇异常而导致的一系列问题，在提高设备使用寿命的同时，也确保了晶圆产品的质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电源内置风扇的监控装置。

背景技术

目前，半导体集成电路(IC)产业已经经历了指数式增长。IC材料和设计中的技术进步已经产生了数代IC，其中，每代IC都比前一代IC具有更小和更复杂的电路。在IC发展的过程中，功能密度(即每一芯片面积上互连器件的数量)已普遍增加，而几何尺寸(即使用制造工艺可以产生的最小部件)却已减小。除了IC部件变得更小和更复杂之外，在其上制造IC的晶圆变得越来越大，这就对晶圆的质量要求越来越高。

在晶圆的制造过程中，需要经过多步工艺，例如表面清洗、初次氧化、化学气相沉积镀膜、化学机械研磨、光刻、退火、离子注入等，而每一步工艺的实现都需要借助相应的制造设备。随着晶圆制造工艺过程中自动化程度的不断提高，完成晶圆制造工序的各种设备基本上都属于电子设备。而一种电子设备的正常运行，需要提供一个或多个电源。为了利于电源散热，通常在这些电源中都内置有散热风扇，以协助电源散热。

为了确保散热风扇正常运行，通常在对电源作周期性保养的过程中，也会对散热风扇进行周期性的检查。但是，人工检查的方式存在漏检性和延误性，不能及时、准确的发现散热风扇的缺陷。因此，如果没有及时知晓散热风扇的缺陷，而在设备运行过程中出现散热风扇失效的情况，不仅会严重影响电源的输出，而且还会使得电源因温度升高甚至烧焦，直接影响电源成本与机台效率，严重时还会对生成过程中的晶圆产品造成损伤。

因此，如何及时、准确的知晓电源内散热风扇的状况，避免散热风扇在使用过程中出现失效而带来的一系列影响，是目前亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种电源内置风扇的监控装置，用以解决现有技术中不能及时、准确的知晓电源内散热风扇的状况的问题，以避免在晶圆生产设备运行过程中出现散热风扇失效的现象。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种电源内置风扇的监控装置，包括第一传感器和控制器；所述第一传感器，连接所述控制器，用于检测风扇内部的电信号并传输至所述控制器；所述控制器，用于判断所述电信号是否超出第一预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。

优选的，所述电信号为电压信号，所述第一传感器为电压传感器。

优选的，所述电信号为电流信号，所述第一传感器为电流传感器。

优选的，所述第一传感器连接所述风扇的供电输入线或供电输出线。

优选的，还包括第二传感器；所述第二传感器，连接所述控制器，用于检测所述风扇的马达温度并传输至所述控制器；所述控制器还用于判断所述温度是否超出第二预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。

优选的，还包括第三传感器；所述第三传感器，固定于所述风扇的支架上，用于检测所述第三传感器与所述风扇中一扇叶之间的距离并传输至所述控制器；所述控制器判断连续多次检测到的距离是否相同，若是，则确认所述风扇出现异常。

优选的，所述控制器包括显示屏，所述显示屏用于显示所述电信号。

优选的，还包括报警器；所述报警器，连接所述控制器，用于在所述风扇出现异常时发出报警信号。

优选的，所述报警器包括蜂鸣器和/或发光二极管。