[实用新型]研磨头及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201721380551.0 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN207326710U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 岳志刚;林宗贤;吴龙江;辛君 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种研磨头及化学机械研磨装置。所述研磨头，包括用于限定晶圆位置的定位环，还包括嵌入所述研磨头内的传输管道；所述定位环上设置有至少一开口，所述开口与所述传输管道连通，研磨液经所述传输管道从所述开口流出至研磨垫表面。本实用新型避免了研磨液在研磨垫表面分布不均的现象，确保了晶圆表面的平整性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 化学 机械 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头，包括用于限定晶圆位置的定位环，其特征在于，还包括嵌入所述研磨头内的传输管道；所述定位环上设置有至少一开口，所述开口与所述传输管道连通，研磨液经所述传输管道从所述开口流出至研磨垫表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德淮半导体有限公司，未经德淮半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721380551.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：组合式快递柜
- 下一篇：一种C波段超宽带LC型六合一滤波器
